[發明專利]基板搬送裝置及基板搬送方法

無效

• 申請號: 200910006166.3
• 申請日: 2009-02-05
• 公開（公告）號: CN101504926A
• 公開（公告）日: 2009-08-12
• 發明（設計）人: 木內智一;小沢津登務
• 申請（專利權）人: 奧林巴斯株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 陳 堅

1.一種基板搬送裝置，其從基板搬送路徑的上游側向下游側搬送基 板，其特征在于，

上述基板搬送裝置包括：

導軌，其在基板搬送方向上呈一條直線狀地設置；以及

多個基板搬送部，它們設置成能夠沿著上述導軌彼此獨立地移動，

上述多個基板搬送部分別包括：滑動體，其設置成能夠沿著上述導 軌彼此獨立地移動；支撐部，其設置于所述滑動體；基板保持部，其設 置于所述支撐部，對所述基板進行保持；上下機構，其經所述支撐部使 所述基板保持部在上下方向移動，由此使所述基板保持部在保持所述基 板的位置和自該位置向下方退避的退避位置之間移動；以及連接部，其 固定于所述支撐部，并能夠配合所述上下結構的上下運動而滑動，

關于所述各基板搬送部，在所述各支撐部以預定間隔配置有多個或 者多組所述基板保持部，當一個基板搬送部與另一基板搬送部位于所述 基板的交接位置的時候，配置于所述一個基板搬送部的所述支撐部的所 述多個或者多組基板保持部與配置于所述另一基板搬送部的所述支撐部 的所述多個或者多組基板保持部以彼此不干涉的方式錯開地對置，

所述各基板搬送部的滑動體在所述基板的交接位置處于這樣的位 置：配置有所述基板保持部的部分在所述導軌的寬度方向相互并列。

2.如權利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于，

關于所述各基板搬送部，在將通過一個基板搬送部搬送來的所述基 板交接給另一基板搬送部時，通過所述另一基板搬送部的上下機構使所 述另一基板搬送部的基板保持部上升以保持所述基板，然后解除所述一 個基板搬送部對基板的保持，通過所述一個基板搬送部的上下機構使所 述一個基板搬送部的基板保持部下降到所述退避位置。

3.如權利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于，

關于所述各基板搬送部，在所述基板的交接位置使一個基板搬送部 的基板保持部在所述基板的下方待機，在通過另一基板搬送部保持所述 基板的狀態下搬送到所述基板的交接位置之后，通過所述另一基板搬送 部的上下機構使所述另一基板搬送部的基板保持部上升以保持所述基 板，在通過所述另一基板搬送部完成了所述基板的保持之后，解除所述 一個基板搬送部對基板的保持，通過所述一個基板搬送部的上下機構使 所述一個基板搬送部的基板保持部下降到與所述一個基板搬送部的基板 保持部不干涉的退避位置。

4.如權利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于，

所述各基板搬送部的至少一方具有使該基板搬送部的基板保持部移 動的寬度方向移動單元，通過所述寬度方向移動單元使配置于所述支撐 部的所述基板保持部在與所述搬送方向正交的方向移動。

5.如權利要求4所述的基板搬送裝置，其特征在于，

所述寬度方向移動單元經設置有該寬度方向移動單元的所述一個基 板搬送部的支撐部，使所述基板保持部在與所述搬送方向正交的方向移 動，以使配置于所述一個基板搬送部的所述基板保持部與配置于所述另 一基板搬送部的所述基板保持部在所述基板的接收位置沿所述基板搬送 方向排列成一條直線。

6.如權利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于，

所述一個基板搬送部設置有輔助保持部，該輔助保持部在配置于所 述另一基板搬送部的所述基板保持部的外側輔助地支撐所述基板。

7.如權利要求6所述的基板搬送裝置，其特征在于，

所述基板保持部通過對所述基板的背面的真空吸附來用吸附墊保持 所述基板，

所述輔助保持部通過具有在與搬送方向正交的方向上細長的平坦面 的扁平墊、銷、以及輥子中的任一種來支撐所述基板。

8.如權利要求1所述的基板搬送裝置，其特征在于，

所述各基板搬送部的至少一方具有：配置了多個吸附保持部來作為 所述基板保持部的多個支撐部；以及配置了多個非吸附保持部的支撐部，

支撐所述多個非吸附保持部的支撐部位于支撐所述多個吸附保持部 的多個支撐部之間。