[發(fā)明專利]流動控制方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200910004595.7 | 申請日： | 2003-09-10 |
| 公開（公告）號： | CN101491889A | 公開（公告）日： | 2009-07-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | M·G·惠勒 | 申請（專利權(quán)）人： | 美國艾默生電氣公司 |
| 主分類號： | B24B57/02 | 分類號： | B24B57/02;B24B29/02;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 彭 武;楊松齡 |
| 地址： | 美國密*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 流動 控制 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于控制到CMP工具的漿液流的方法，包括：
提供預(yù)先裝有漿液的一次性袋；
使該一次性袋定位為與漿液出口流體連通；
將CMP工具連接到所述漿液出口；和
壓陷該一次性袋，以便將漿液以所希望的流率從該一次性袋排出到該CMP工具。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，該一次性袋和可動部件位于剛性容器中，并且壓陷該一次性袋包括：在第一方向上移動該可動部件以壓陷該一次性袋。
3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，該一次性袋位于剛性容器中，并且壓陷該一次性袋包括：將工作流體泵送入該剛性容器中以壓陷該一次性袋。
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