[發(fā)明專利]光刻設備和校準方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200910003815.4
• 申請日: 2009-02-06
• 公開（公告）號: CN101504511A
• 公開（公告）日: 2009-08-12
• 發(fā)明（設計）人: M·W·M·范德維基斯特;G·安格利斯;R·G·克拉沃爾;M·R·漢姆爾斯;B·T·沃哈爾;P·霍埃克斯卓
• 申請（專利權）人: ASML荷蘭有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 王新華

技術領域

本發(fā)明涉及一種用于校準臺系統(tǒng)的方法、臺系統(tǒng)和包括這種臺系統(tǒng)的 光刻設備。

背景技術

光刻設備是一種將所需圖案應用到襯底上，通常是襯底的目標部分上 的機器。例如，可以將光刻設備用在集成電路(IC)的制造中。在這種情 況下，可以將可選地稱為掩模或掩模版(reticle)的圖案形成裝置用于生成在 所述IC的單層上待形成的電路圖案。可以將該圖案成像到襯底(例如， 硅晶片)上的目標部分(例如，包括一部分管芯、一個或多個管芯)上。 通常，圖案的轉移是通過把圖案成像到提供到襯底上的輻射敏感材料(抗 蝕劑)層上進行的。通常，單獨的襯底將包含被連續(xù)形成圖案的相鄰目標 部分的網絡。公知的光刻設備包括：步進機，在所述步進機中，通過將全 部圖案一次曝光到所述目標部分上來輻射每一個目標部分；以及掃描器， 在所述掃描器中，通過輻射束沿給定方向(“掃描”方向)掃描所述圖案、 同時沿與該方向平行或反向平行的方向掃描所述襯底來輻射每一個目標 部分。也可能通過將圖案壓印(imprinting)到襯底的方式從圖案形成裝置 將圖案轉移到襯底上。

在臺系統(tǒng)中，例如在光刻設備臺系統(tǒng)中，位置傳感器可以用來測量臺 的位置。編碼器型測量系統(tǒng)可以用于這種位置測量。另外，應用中可以使 用柵格(也稱為格柵)，例如一維或二維柵格、柵格板等，并且傳感器頭 和柵格協同工作。由于格柵的制造過程，格柵可能并不理想，可能會引入 偏差。通過所謂的“魚骨”技術校正在位置傳感系統(tǒng)中的柵格誤差，借此 在不同的相互位置處將圖案重復地投影到襯底上，并且隨后測量圖案之間 的間距以將它們與圖案之間的預定間距比較。所測的差值與測量系統(tǒng)在曝 光位置處的誤差相關。通過確定在位置傳感器的整個工作范圍上的這些差 值，可以確定測量系統(tǒng)上的大量位置的誤差補償值，這些誤差補償值在應 用時可以校正測量系統(tǒng)誤差。通常，但不是排他性地限定，應用中可以用 重疊或鄰近圖案，例如線條圖案，它在某些設置中形成類似魚骨的圖案。 然而，應該理解到，這種校準技術也可以應用任何其他類型的圖案。

魚骨校準技術僅能夠校準柵格板中具有低空間頻率的誤差，也就是， 當臺和柵格板相對于彼此移動時相對地逐漸改變并具有在與根據魚骨技 術的重復圖案相關的頻率范圍內或以下的空間頻率的誤差。通過上述魚骨 技術探測那些導致在高空間頻率的誤差的不精確性或其他影響可能是困 難的。

發(fā)明內容

本發(fā)明旨在提高臺位置測量的校準精確度。

根據本發(fā)明的實施例，提供一種臺系統(tǒng)校準方法，包括a)響應設定 點信號，相對于編碼器柵格移動所述臺，所述臺的位置通過臺控制器進行 控制；b)在所述移動過程中，通過傳感器頭與所述編碼器柵格協作測量 所述臺的位置；c)寄存表示設定點信號和由所述傳感器頭所測的臺的位 置之間的差異的信號；和d)通過表示所述差異的寄存信號校準所述臺系 統(tǒng)。

在本發(fā)明的另一實施例中，提供一種臺系統(tǒng)，其包括：可移動臺；編 碼器柵格和構造成測量所述臺相對于所述編碼器柵格的位置的傳感器頭； 和控制器，所述控制器構造用于：a)根據設定點信號，相對于所述編碼 器柵格定位所述可移動臺；b)寄存表示所述設定點信號和由所述傳感器 頭所測的可移動臺的位置之間的差異的信號；和c)通過表示所述差異的 寄存信號校準所述臺系統(tǒng)。

根據本發(fā)明的還一實施例，提供一種光刻設備，其包括：構造用于調 節(jié)輻射束的照射系統(tǒng)；構造成保持圖案形成裝置的圖案形成裝置支撐結 構，所述圖案形成裝置構造用于圖案化所述輻射束以形成圖案化的輻射 束；構造用于支撐襯底的襯底支撐結構；構造用于將所述圖案化的輻射束 投影到所述襯底上的投影系統(tǒng)，以及構造用于移動所述支撐結構中的一個 的臺系統(tǒng)，所述臺系統(tǒng)包括：a)用于保持所述支撐結構中的一個的可移 動臺；b)編碼器柵格和構造用于測量所述可移動臺相對于所述編碼器柵 格的位置的傳感器頭；和c)控制器，所述控制器構造用于：i)根據設定 點信號，相對于所述編碼器柵格定位所述可移動臺；ii)寄存表示所述設 定點信號和由所述傳感器頭所測的可移動臺的位置之間的差異的信號；和 iii)通過表示所述差異的寄存信號校準所述臺系統(tǒng)。

附圖說明

下面參照附加的示意性附圖，僅以實例的方式對本發(fā)明的實施例進行 描述，在附圖中相同的附圖標記表示相應的部分，在附圖中：