[發(fā)明專(zhuān)利]起閥器及其表面處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200910003039.8
• 申請(qǐng)日: 2009-01-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101629497A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-01-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 呂寅雄;崔圣文;金雄;安正煜;金炯翼;安承均;白洪吉;鄭軫元
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 現(xiàn)代自動(dòng)車(chē)株式會(huì)社;起亞自動(dòng)車(chē)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): F01L1/14
• 分類(lèi)號(hào): F01L1/14;F01L1/16;C23C8/54;C23C14/06
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 龍 淳;彭益群

1.一種起閥器，其包括基體和設(shè)置在所述基體上的涂層，其中， 所述涂層包括：

緩沖層，其通過(guò)在經(jīng)受了碳氮共滲處理的所述基體的表面上濺射 金屬靶而形成；

Me類(lèi)金剛石碳層，其具有0.3～0.6μm的厚度，并且通過(guò)在所述緩 沖層上濺射選自W、Cr、Ti、和Mo的靶而形成；以及

類(lèi)金剛石碳層，其形成在所述Me類(lèi)金剛石碳層上，具有1～1.5μm 的厚度，并且具有60～70％的SP3鍵合部分。

2.如權(quán)利要求1所述的起閥器，其中，經(jīng)受了碳氮共滲處理的所 述基體具有0.01～0.04的表面粗糙度(Ra)。

3.如權(quán)利要求1所述的起閥器，其中，所述緩沖層為通過(guò)濺射 Cr靶所形成的Cr涂層。

4.如權(quán)利要求1所述的起閥器，其中，所述類(lèi)金剛石碳層具有5～ 15重量％的氫含量和28～32Gpa的硬度。

5.一種起閥器，其包括基體和設(shè)置在所述基體上的涂層，其中， 所述涂層的頂部涂層是具有60～70％的SP3鍵合部分的類(lèi)金剛石碳層。

6.如權(quán)利要求5所述的起閥器，其中，所述類(lèi)金剛石碳層具有1～1.5 μm的厚度。

7.如權(quán)利要求5所述的起閥器，其中，所述類(lèi)金剛石碳層具有5～ 15重量％的氫含量和28～32Gpa的硬度。

8.一種對(duì)起閥器進(jìn)行表面處理的方法，其包括：

(a)對(duì)基體的表面進(jìn)行碳氮共滲和回火；

(b)對(duì)所述基體進(jìn)行表面拋光，以產(chǎn)生0.01～0.04的表面粗糙度 (Ra)；

(c)在所述基體上形成金屬緩沖層，然后，通過(guò)濺射選自W、Cr、 Ti、和Mo的靶，在所述金屬緩沖層上形成具有0.3～0.6μm的厚度的 Me類(lèi)金剛石碳層；以及

(d)在所述Me類(lèi)金剛石碳層上形成具有60～70％的SP3鍵合部 分和1～1.5μm的厚度的類(lèi)金剛石碳層。

9.如權(quán)利要求8所述的方法，其中，在所述步驟(d)中通過(guò)濺 射石墨靶形成所述類(lèi)金剛石碳層，并且，通過(guò)調(diào)節(jié)乙炔(C₂H₂)的量 以及施加到安裝所述起閥器的夾具上的偏置電壓的大小，來(lái)控制所述 SP3鍵合部分。

10.如權(quán)利要求8所述的方法，其中，所述緩沖層通過(guò)濺射Cr靶 而形成。

11.如權(quán)利要求8所述的方法，其中，在所述步驟(a)中，在200～ 250℃的溫度進(jìn)行所述回火。

12.如權(quán)利要求8所述的方法，其中，在所述步驟(c)和(d) 中，以維持在250℃或更低的涂覆溫度，進(jìn)行用于形成所述緩沖層、所 述Me類(lèi)金剛石碳層和所述類(lèi)金剛石碳層的處理。