[發(fā)明專利]蒸鍍裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200880107079.0
• 申請日: 2008-09-04
• 公開（公告）號: CN101803459A
• 公開（公告）日: 2010-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 根岸敏夫
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社愛發(fā)科
• 主分類號: H05B33/10
• 分類號: H05B33/10;H01L51/50;C23C14/12
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 嚴(yán)志軍;楊楷

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及蒸鍍裝置。

背景技術(shù)

有機(jī)EL元件是近年來最受注目的顯示元件之一，具有高亮度且響應(yīng)速度快的優(yōu)異特性。有機(jī)EL元件在玻璃基板上配置有以紅、綠、藍(lán)三色的不同顏色來發(fā)色的發(fā)光區(qū)域。發(fā)光區(qū)域是陽極電極膜、空穴注入層、空穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層、電子注入層以及陰極電極膜以此順序?qū)盈B，利用添加在發(fā)光層中的發(fā)色劑，以紅、綠或藍(lán)進(jìn)行發(fā)色。

空穴輸送層、發(fā)光層、電子輸送層等一般由有機(jī)材料構(gòu)成，在這種由有機(jī)材料形成的膜的成膜中，廣泛地使用蒸鍍裝置。

圖5的符號203是現(xiàn)有技術(shù)的蒸鍍裝置，在真空槽211的內(nèi)部配置有蒸鍍?nèi)萜?12。蒸鍍?nèi)萜?12具有容器本體221，該容器本體221的上部由形成有一個乃至多個放出口224的蓋部222堵塞。

在蒸鍍?nèi)萜?12的內(nèi)部，配置有粉體的有機(jī)蒸鍍材料200。

在蒸鍍?nèi)萜?12的側(cè)面和底面，配置有加熱器223，如果對真空槽211內(nèi)進(jìn)行真空排氣，并使加熱器223發(fā)熱，則蒸鍍?nèi)萜?12升溫，蒸鍍?nèi)萜?12內(nèi)的有機(jī)蒸鍍材料200被加熱。

如果有機(jī)蒸鍍材料200被加熱至蒸發(fā)溫度以上的溫度，則在蒸鍍?nèi)萜?12內(nèi)充滿著有機(jī)材料蒸氣，從放出口224放出至真空槽211內(nèi)。

在放出口224的上方配置有保持器210，如果將基板205保持在保持器210上，那么，從放出口224放出的有機(jī)材料蒸氣到達(dá)基板205表面，形成空穴注入層或空穴輸送層或發(fā)光層等的有機(jī)薄膜。

在制造彩色顯示的有機(jī)EL裝置的情況下，通常，在不同的區(qū)域形成2色以上的著色層而作為發(fā)光層。這種情況下，由于有必要在預(yù)先決定的區(qū)域形成著色層，因而，將形成有形狀和間隔與該區(qū)域大致相等的開口的掩模214配置在蒸鍍?nèi)萜?12和基板205之間，進(jìn)行成膜。

在現(xiàn)有技術(shù)中，在第1色的著色層的成膜結(jié)束后，從基板205將掩模214卸下，搬入至不同的蒸鍍裝置，安裝新的掩模，進(jìn)行第2色以后的著色層的成膜。

但是，在該方法中，在進(jìn)行1個發(fā)光層的成膜的期間，有必要在蒸鍍裝置將基板205多次搬入搬出，使基板205的搬送距離變長，因而容易產(chǎn)生塵埃。如果塵埃產(chǎn)生，則其混入發(fā)光層或者在發(fā)光層的后工序中所成膜的薄膜，成為有機(jī)EL裝置的污染原因。

專利文獻(xiàn)1：日本特開平10-204624號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開2006-307239號公報

專利文獻(xiàn)3：日本特開2003-293121號公報

專利文獻(xiàn)4：日本特開2005-163156號公報

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明用于解決上述問題，其目的在于，提供一種不引起污染而能夠進(jìn)行發(fā)光層的成膜的蒸鍍裝置。

為了解決上述問題，本發(fā)明是一種蒸鍍裝置，具有：真空槽；基板保持裝置，配置在所述真空槽的內(nèi)部并保持基板；供給裝置，在內(nèi)部收容有機(jī)材料，并產(chǎn)生所述有機(jī)材料的蒸氣；放出裝置，配置在與所述基板面對的位置，并將所述供給裝置產(chǎn)生的所述有機(jī)材料的蒸氣放出至所述真空槽內(nèi)部；掩模，形成有多個開口，配置在所述真空槽內(nèi)部；以及掩模保持裝置，將所述掩模保持在所述基板和所述放出裝置之間的位置，其中，從所述放出裝置放出的所述蒸氣通過所述掩模的所述開口而到達(dá)所述基板，所述蒸鍍裝置，具有：多個所述供給裝置，分別連接于所述放出裝置；對位裝置，將被保持在所述基板保持裝置的所述基板和被保持在所述掩模保持裝置的所述掩模對位；以及切換裝置，將多個所述供給裝置中的所期望的所述供給裝置連接于所述放出裝置。

本發(fā)明是一種蒸鍍裝置，具有：真空槽；基板保持裝置，配置在所述真空槽的內(nèi)部并保持基板；供給裝置，在內(nèi)部收容有機(jī)材料，并產(chǎn)生所述有機(jī)材料的蒸氣；以及放出裝置，配置在與所述基板面對的位置，并將所述供給裝置產(chǎn)生的所述有機(jī)材料的蒸氣放出至所述真空槽內(nèi)部，其中，從所述放出裝置放出的所述蒸氣到達(dá)所述基板，所述蒸鍍裝置，具有：多個所述供給裝置，分別連接于所述放出裝置；以及切換裝置，將多個所述供給裝置中的所期望的所述供給裝置連接于所述放出裝置。

本發(fā)明是一種蒸鍍裝置，在上述各供給裝置，配置有不同顏色的上述有機(jī)材料。

本發(fā)明是一種蒸鍍裝置，其中，所述各供給裝置，具有：收容所述有機(jī)材料的收容部、形成于所述收容部的底部的貫通孔、經(jīng)由所述貫通孔而連接于所述收容部的蒸發(fā)室、插入并貫通于所述貫通孔的旋轉(zhuǎn)軸、使所述旋轉(zhuǎn)軸以中心軸線為中心而旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置，其中，在所述旋轉(zhuǎn)軸的周圍，形成有螺旋狀的凸條，如果所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，則所述有機(jī)材料通過所述凸條間的溝而從所述收容部向著所述蒸發(fā)室移動。