[發明專利]蒸鍍裝置無效
| 申請號： | 200880107079.0 | 申請日： | 2008-09-04 |
| 公開（公告）號： | CN101803459A | 公開（公告）日： | 2010-08-11 |
| 發明（設計）人： | 根岸敏夫 | 申請（專利權）人： | 株式會社愛發科 |
| 主分類號： | H05B33/10 | 分類號： | H05B33/10;H01L51/50;C23C14/12 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 嚴志軍;楊楷 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 裝置 | ||
1.一種蒸鍍裝置，具有：
真空槽；
基板保持裝置，配置在所述真空槽的內部并保持基板；
供給裝置，在內部收容有機材料，并產生所述有機材料的蒸氣；
放出裝置，配置在與所述基板面對的位置，并將所述供給裝置產生的所述有機材料的蒸氣放出至所述真空槽內部；
掩模，形成有多個開口，配置在所述真空槽內部；以及
掩模保持裝置，將所述掩模保持在所述基板和所述放出裝置之間的位置，
其中，從所述放出裝置放出的所述蒸氣通過所述掩模的所述開口而到達所述基板，
所述蒸鍍裝置，具有：
多個所述供給裝置，分別連接于所述放出裝置；
對位裝置，將被保持在所述基板保持裝置的所述基板和被保持在所述掩模保持裝置的所述掩模對位；以及
切換裝置，將多個所述供給裝置中的所期望的所述供給裝置連接于所述放出裝置。
2.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，
在所述各供給裝置，配置有不同顏色的所述有機材料。
3.根據權利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，
所述各供給裝置，具有：
收容所述有機材料的收容部、
形成于所述收容部的底部的貫通孔、
經由所述貫通孔而連接于所述收容部的蒸發室、
插入并貫通于所述貫通孔的旋轉軸、
使所述旋轉軸以中心軸線為中心而旋轉的旋轉裝置，
在所述旋轉軸的周圍，形成有螺旋狀的凸條，
如果所述旋轉軸旋轉，則所述有機材料通過所述凸條間的溝而從所述收容部向著所述蒸發室移動。
4.一種蒸鍍裝置，具有：
真空槽；
基板保持裝置，配置在所述真空槽的內部并保持基板；
供給裝置，在內部收容有機材料，并產生所述有機材料的蒸氣；以及
放出裝置，配置在與所述基板面對的位置，并將所述供給裝置產生的所述有機材料的蒸氣放出至所述真空槽內部，
其中，從所述放出裝置放出的所述蒸氣到達所述基板，
所述蒸鍍裝置，具有：
多個所述供給裝置，分別連接于所述放出裝置；以及
切換裝置，將多個所述供給裝置中的所期望的所述供給裝置連接于所述放出裝置。
5.根據權利要求4所述的蒸鍍裝置，其特征在于，
在所述各供給裝置，配置有不同顏色的所述有機材料。
6.根據權利要求4所述的蒸鍍裝置，其特征在于，
所述各供給裝置，具有：
收容所述有機材料的收容部、
形成于所述收容部的底部的貫通孔、
經由所述貫通孔而連接于所述收容部的蒸發室、
插入并貫通于所述貫通孔的旋轉軸、
使所述旋轉軸以中心軸線為中心而旋轉的旋轉裝置，
其中，
在所述旋轉軸的周圍，形成有螺旋狀的凸條，
如果所述旋轉軸旋轉，則所述有機材料通過所述凸條間的溝而從所述收容部向著所述蒸發室移動。
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