[發明專利]慣性力傳感器

無效

• 申請號: 200880105337.1
• 申請日: 2008-08-29
• 公開（公告）號: CN101796374A
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 大越偉生;三谷朋弘
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56;G01P9/04;G01P15/08
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 張勁松

技術領域

本發明涉及一種用于飛機、汽車、機器人、船舶、車輛等移動體的姿勢控制及導航等各種電子設備的慣性力傳感器。

背景技術

圖9是現有的角速度傳感器的分解立體圖。圖10是現有的角速度傳感器的剖面圖。圖9、圖10中，現有的角速度傳感器具備：由音叉形狀的振動子構成的振動型角速度檢測元件2、對自該角速度檢測元件2輸出的輸出信號進行處理的IC4、信號處理用的電容器6。這些角速度檢測元件2、IC4和電容器6相互并列安裝在殼體8上。而且，有蓋10的殼體8被收納在封裝體12內且用罩14保護。

在該封裝體12的內部形成有載置殼體8的載置部16。該載置部16經由具有S字狀的彎曲部的端子18與封裝體12連接。另外，具有S字狀的彎曲部的端子18和角速度檢測元件2及IC4，經由配置在殼體8上的電極焊盤20相互電連接，并經由該端子18進行信號的輸入、輸出。

使這種角速度傳感器與要檢測的檢測軸相對應，并用于車輛等移動體的姿勢控制裝置及導航裝置等。上述構成中，載置殼體8的載置部16經由具有S字狀的彎曲部的端子18與封裝體12連接。因而，能夠抑制沖擊等引起的向角速度傳感器的干擾振動。另外，作為與本申請的發明相關連的現有技術文獻信息，例如已知有專利文獻1。

但是，由于配置在殼體8上的角速度檢測元件2和IC4相互并列配置，所以，殼體8內的安裝面積變大。另外，由于角速度檢測元件2和端子18，IC4和端子18是經由殼體8的電極焊盤20進行電連接，所以，殼體8的電極焊盤20的配置數量也變多，難以實現殼體8的小型化。

專利文獻1：國際公開第03/046479號小冊子

發明內容

本發明提供一種慣性力傳感器，其抑制干擾振動的同時，減小角速度檢測元件和IC的安裝面積，并且還可以減少用于信號的輸入、輸出的電極焊盤的配置數量，從而實現小型化。

本發明的慣性力傳感器的防振部具有：載置層疊有角速度檢測元件的IC的載置部、與載置部的外方分離而配置并且經由配線圖案連接在載置部的外方部。載置部被懸空保持，并通過外方部安裝在封裝體上。另外，角速度檢測元件或IC與配線圖案電連接。

這樣，由于是將角速度檢測元件層疊在IC上，所以可減小相對于載置部的安裝面積，從而實現小型化。另外，由于載置部被懸空保持，且通過經由配線圖案連接于載置部的外方部安裝在封裝體上，所以，配線圖案發揮防振功能的作用，吸收干擾振動。

另外，由于角速度檢測元件或IC與配線圖案電連接，所以減少了電連接部位，可實現小型化。

此外，能夠確保可穩定地安裝在IC上的安裝面積，并且各個配線圖案上承載的質量變大，所以，還可以提高配線圖案的干擾振動的吸收率。即，可以抑制干擾振動，不會損失檢測精度，從而可實現小型化。

附圖說明

圖1是本發明實施方式1的角速度傳感器的分解立體圖；

圖2是本發明實施方式1的角速度傳感器的防振部的俯視圖；

圖3是本發明實施方式1的角速度傳感器的防振部的仰視圖；

圖4是收納于封裝體前的本發明實施方式1的角速度傳感器的立體圖；

圖5是表示干擾振動的振動頻率和振動傳遞率的關系的衰減特性圖；

圖6是本發明實施方式1的其它角速度傳感器的分解立體圖；

圖7是本發明實施方式2的角速度傳感器的側向剖面圖；

圖8是本發明實施方式2的其它角速度傳感器的分解立體圖；

圖9是現有角速度傳感器的分解立體圖；

圖10是現有角速度傳感器的剖面圖。

符號說明

32、61角速度檢測元件

33、55、66、71加速度檢測部

34、67IC

36電容器

38、68封裝體

40、63載置部

42、64配線圖案

44、65外方部

46TAB帶

47臺階部

48元件用電極焊盤

50IC用電極焊盤

52連接用電極焊盤

54接合線

62防振部

具體實施方式

(實施方式1)

圖1是本發明實施方式1的角速度傳感器的分解立體圖。圖2是本發明實施方式1的角速度傳感器的防振部的俯視圖。圖3是本發明實施方式1的角速度傳感器的防振部的仰視圖。圖4是收納于封裝體前的本發明實施方式1的角速度傳感器的立體圖。