[發明專利]慣性力傳感器

無效

• 申請號: 200880105337.1
• 申請日: 2008-08-29
• 公開（公告）號: CN101796374A
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 大越偉生;三谷朋弘
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56;G01P9/04;G01P15/08
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 張勁松

1.一種慣性力傳感器，具備：振動型的角速度檢測元件、對自所述角速度檢測元件輸出的輸出信號進行處理的IC、經由防振部收納所述角速度檢測元件和所述IC的封裝體，

所述防振部具有：載置層疊有所述角速度檢測元件的所述IC的載置部、與所述載置部的外方分離而配置并且經由配線圖案連接在所述載置部的外方部，

所述載置部被懸空保持，并通過所述外方部安裝在所述封裝體上，所述角速度檢測元件或所述IC與所述配線圖案電連接。

2.如權利要求1所述的慣性力傳感器，其中，所述角速度檢測元件的重心、所述IC的重心、以及所述載置部的重心相互配置在同一軸上。

3.如權利要求1所述的慣性力傳感器，其中，所述角速度檢測元件具有輸入輸出信號用的元件用電極焊盤，所述IC具有輸入輸出信號用的IC用電極焊盤，所述封裝體具有與所述元件用電極焊盤或所述IC用電極焊盤連接的連接用電極焊盤，所述IC用電極焊盤配置在所述角速度檢測元件的外方，所述元件用電極焊盤或所述IC用電極焊盤與所述配線圖案電連接，所述元件用電極焊盤或所述IC用電極焊盤或所述配線圖案與所述連接用電極焊盤電連接。

4.如權利要求1所述的慣性力傳感器，其中，所述配線圖案相對于所述載置部的中心為對稱形狀。

5.如權利要求1所述的慣性力傳感器，其中，所述載置部及所述外方部用絕緣膜形成，所述配線圖案粘接配置在所述絕緣膜上。

6.一種慣性力傳感器，具備：角速度檢測元件；防振部，其由載置部和外方部構成，所述載置部在上面懸空保持有所述角速度檢測元件，所述外方部通過配線圖案與所述載置部連接；對來自所述角速度檢測元件的輸出信號進行處理的IC；收納所述角速度檢測元件、所述防振部及所述IC的封裝體，

在所述封裝體的內底面設置有加速度檢測部。

7.一種慣性力傳感器，具備：角速度檢測元件；防振部，其由載置部和外方部構成，所述載置部在上面懸空保持有所述角速度檢測元件，所述外方部通過配線圖案與所述載置部連接；對來自所述角速度檢測元件的輸出信號進行處理的IC；收納所述角速度檢測元件、所述防振部及所述IC的封裝體，

在所述防振部的載置部的下面設置有加速度檢測部。