[發明專利]懸浮輸送裝置

無效

• 申請號: 200880021730.2
• 申請日: 2008-05-09
• 公開（公告）號: CN101715421A
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 平田賢輔;長谷川文夫;田中刈入
• 申請（專利權）人: 株式會社IHI
• 主分類號: B65G51/03
• 分類號: B65G51/03;B65G49/06;H01L21/677
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強

技術領域

本發明涉及使用壓縮空氣等的流體一邊使對象物懸浮一邊進行輸送的懸浮輸送裝置。

背景技術

在現有技術中揭示有多種通過使用壓縮空氣等的流體來將對象物懸浮的同時進行輸送的懸浮輸送裝置。這些懸浮輸送裝置典型地是具備懸浮裝置，該懸浮裝置具有使空氣等的流體通過的噴嘴。向懸浮裝置和對象物之間噴出的空氣等的流體發生壓力，對象物通過該壓力懸浮，并接受輸送裝置的驅動力而被輸送。相關技術記載于日本專利申請公開公報2006-182563號中。

現有的懸浮輸送裝置，因缺乏改變控制對象物懸浮高度的能力，從而由于對象物形狀或性質，擔心對象物與懸浮裝置等接觸。

發明內容

本發明的目的在于提供一種可通過控制對象物的高度來防止對象物與懸浮裝置接觸的懸浮輸送裝置。

本發明的第一方案提供一種懸浮輸送裝置，用于通過流體使具有下表面的對象物懸浮并進行輸送，所述懸浮輸送裝置具有：

一個以上的基部，劃分所述流體通過的小室，且分別具有平面狀的上表面和噴出孔，該噴出孔形成為在所述上表面具有開口部，并配置成可在所述開口部包圍的所述上表面的區域和所述對象物的所述下表面之間形成使所述流體發生均勻壓力的空間，至少在所述上表面附近向所述區域的內部傾斜，用于與所述小室連通而噴出所述流體；

流體供給裝置，對所述流體施壓從而向所述小室供給所述流體；

讀取裝置，讀取從由所述對象物的懸浮高度、所述對象物的品種所構成的組中選擇的信息；

控制裝置，對所述流體供給裝置進行控制，使得與所述讀取裝置所讀取的所述信息對應地調節所述懸浮高度；

輸送裝置，用于輸送所述對象物。

優選為，所述控制裝置具有處理器，所述處理器將所述控制作為使所述懸浮高度為固定的反饋控制而進行。

或者優選為，所述控制裝置具有：

存儲裝置，用于存儲多個品種、和分別與所述品種對應的多個控制規則；

處理器，通過將所讀取的所述信息與所存儲的所述多個品種對照來讀取所述多個控制規則中的一個，并與所述一個控制規則對應地進行所述控制。

附圖說明

圖1是表示根據本發明第一實施方式的懸浮輸送裝置的概略性的正視圖。

圖2是表示所述懸浮輸送裝置的控制的流程圖。

圖3是表示供給的流量和對象物的懸浮量的關系的圖表。

圖4是表示根據本發明第一實施方式或第二實施方式的懸浮輸送裝置的部分俯視圖。

圖5是表示圖4的V-V線的部分剖視圖。

圖6是表示所述懸浮輸送裝置所具有的懸浮裝置的俯視圖。

圖7表示沿圖6的VII-VII線取得的部分剖視圖。

圖8是表示沿圖6的VIII-VIII線取得的部分剖視圖。

圖9是表示本發明第二實施方式的懸浮輸送裝置的概略性的正視圖。

圖10是表示所述懸浮輸送裝置的控制的流程圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本發明的實施方式進行說明。在本說明書、權利要求書及附圖中，前方、后方、左方及右方在圖中分別定義為以FF、FR、L及R標記的方向。這些定義僅為方便說明而舉，本發明并不限于這些內容。

第一實施方式

根據本發明第一實施方式的懸浮輸送裝置1，如圖1及圖4所示，是用于使對象物W向垂直方向懸浮后向水平輸送方向(例如后方FR)輸送的裝置。作為對象物W，優選為全體呈平面狀的比較薄的物體，例如LCD(液晶顯示器)用的玻璃基板等的薄板。對象物W無需全體呈平面狀，只需對象物W下表面的至少一部分呈平面狀即可。為使對象物W懸浮，利用例如空氣那樣的流體。

對象物W是需要在LCD用的薄玻璃基板等的無塵環境下輸送的物品的情況下，所述懸浮輸送裝置1可在潔凈室內等的清潔環境下使用。

如圖1、圖4及圖5所示，懸浮輸送裝置1具備：向前后方向延伸的基臺3；在基臺3上沿前后方向形成列的輸送裝置5；以及在基臺3上沿前后方向及左右方向的兩方向形成列的多個懸浮裝置7。在懸浮裝置7上連接有作為用于供給流體的流體供給裝置而供給壓縮空氣的氣體供給裝置9。也可以利用氮氣或氬氣等的其他氣體、或液體等的其他流體，來代替壓縮空氣。