[發明專利]懸浮輸送裝置

無效

• 申請號: 200880021730.2
• 申請日: 2008-05-09
• 公開（公告）號: CN101715421A
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 平田賢輔;長谷川文夫;田中刈入
• 申請（專利權）人: 株式會社IHI
• 主分類號: B65G51/03
• 分類號: B65G51/03;B65G49/06;H01L21/677
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強

1.一種懸浮輸送裝置，用于通過流體使具有下表面的對象物懸浮并輸送，其特征在于，具有：

一個以上的基部，劃分所述流體通過的小室，且分別具有呈平面狀的上表面和噴出孔，該噴出孔形成為在所述上表面具有開口部，并配置成可在所述開口部包圍的所述上表面的區域和所述對象物的所述下表面之間形成使所述流體產生均勻壓力的空間，至少在所述上表面附近向所述區域的內部傾斜、用于與所述小室連通而噴出所述流體；

流體供給裝置，對所述流體施壓從而向所述小室供給所述流體；

讀取裝置，讀取從由所述對象物的懸浮高度、所述對象物的品種所構成的組中選擇的信息；

控制裝置，對所述流體供給裝置進行控制，使得與利用所述讀取裝置讀取的所述信息對應地調節所述懸浮高度；以及

輸送裝置，用于輸送所述對象物。

2.根據權利要求1所述的懸浮輸送裝置，其特征在于，

所述控制裝置具備處理器，所述處理器將所述控制作為使所述懸浮高度為固定的反饋控制而進行。

3.根據權利要求1所述的懸浮輸送裝置，其特征在于，

所述控制裝置具有：

存儲裝置，存儲多個品種、和分別與所述品種對應的多個控制規則；

處理器，通過將所讀取的所述信息與所存儲的所述多個品種對照來讀取所述多個控制規則中的一個，并與所述一個控制規則對應地進行所述控制。