[發明專利]產品的濕式化學處理裝置和方法以及將流動構件安裝入該裝置的方法

有效

• 申請號: 200880018927.0
• 申請日: 2008-06-03
• 公開（公告）號: CN101687154A
• 公開（公告）日: 2010-03-31
• 發明（設計）人: S·丁內拜爾;H·克林爾
• 申請（專利權）人: 埃托特克德國有限公司
• 主分類號: B01F11/00
• 分類號: B01F11/00;B05C1/02;H01L21/00;B05C3/04
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 陳 珊;劉興鵬

1.一種對布置于裝置中的產品(W)進行濕式化學處理的裝置， 所述裝置(100)包括至少一個流動構件(150)，每個流動構件包括 至少一個槳狀流動元件(155)，其中，至少一個流動構件(150)布 置為與產品(W)的表面相對地定位并且能夠與產品(W)的表面平 行地移動，

其特征在于，每個槳狀流動元件包括面向產品(W)表面的一側， 并且所述一側被構造成形成凹陷和/或孔的輪廓。

2.根據權利要求1的濕式化學處理用的裝置，其特征在于產品 (W)是板狀的并且布置于裝置(100)中的處理平面中，以及至少一 個流動構件(150)布置為與處理平面的一側相對地定位并且能夠與 之平行地移動。

3.根據前述權利要求的任何一個的濕式化學處理用的裝置，其特 征在于產品(W)是板狀的并且布置于裝置(100)中的處理平面中， 以及流動構件(150)布置于處理平面的每一側上。

4.根據權利要求3的濕式化學處理用的裝置，其特征在于流動構 件(150)布置于處理平面的兩側上，并且不同流動構件(150)的槳 狀流動元件(155)相對于彼此偏移。

5.根據權利要求1或2的濕式化學處理用的裝置，其特征在于至 少一個流動構件(150)能夠往復移動，完全地覆蓋產品(W)的表面。

6.根據權利要求1或2的濕式化學處理用的裝置，其特征在于所 述至少一個流動構件(150)在移動路徑中循環，并且流動構件移動 過產品(W)的整個表面。

7.根據權利要求1或2的濕式化學處理用的裝置，其特征在于流 動構件(150)的至少一個槳狀流動元件(155)可樞轉。

8.根據權利要求1或2的濕式化學處理用的裝置，其特征在于槳 狀流動元件(155)包括面向產品(W)的表面的凸起地形成的端面。

9.根據權利要求1或2的濕式化學處理用的裝置，其特征在于槳 狀流動元件(155)在移動期間彎曲。

10.根據權利要求1或2的濕式化學處理用的裝置，其特征在于 所述槳狀流動元件(155)構造在面向產品(W)的表面的那側上以形 成凹陷和/或孔的輪廓。

11.根據權利要求2的濕式化學處理用的裝置，其特征在于設有 用于產品(W)的保持構件，允許產品(W)相對于處理平面豎直地 移動，以及同時所述至少一個流動構件(150)以距產品(W)恒定的 間隔之下與之平行的移動。

12.一種對布置于根據權利要求1-11任一個的裝置(100)中的 產品(W)進行濕式化學處理的方法，所述方法包括以下方法步驟：

a.在裝置(100)中提供至少一個流動構件(150)，所述流 動構件分別包括至少一個槳狀流動元件(155)；以及

b.將至少一個流動構件(150)布置于裝置(100)中，與產 品(W)的表面相對地定位，以及

c.相對于產品(W)的表面并且與產品(W)的表面平行地 移動流動構件(150)，

其特征在于每個槳狀流動元件(155)包括面向產品(W)表面的 一側，并且所述一側被構造成形成凹陷和/或孔的輪廓，

或者，流動構件(150)包括至少兩個槳狀流動元件(155)，所 述至少兩個槳狀流動元件(155)位于距產品(W)表面的改變間隔處，

或者，若產品是板狀產品(W)，流動構件(150)布置于板狀產 品(W)的每一側上，并且布置于板狀產品(W)的兩側上的流動構 件(150)的槳狀流動元件(155)彼此偏移。

13.根據權利要求12的濕式化學處理用的方法，其特征在于至 少一個流動構件(150)往復移動，并且流動構件移動過產品(W)的 整個表面。

14.根據權利要求12的濕式化學處理用的方法，其特征在于至 少一個流動構件(150)在移動路徑中循環，并且流動構件移動過產 品(W)的整個表面。

15.根據權利要求12或13的濕式化學處理用的方法，其特征在 于，所述方法步驟a包括以下方法步驟：

a.i.提供濕式化學處理用的裝置(100)，

a.ii.將至少一個流動構件(150)安裝入裝置(100)中，與產 品(W)的表面相對地定位，其中流動構件(150)能夠與 產品(W)的表面平行地移動。