[發明專利]彈性表面波裝置

有效

• 申請號: 200880018400.8
• 申請日: 2008-04-25
• 公開（公告）號: CN101682308A
• 公開（公告）日: 2010-03-24
• 發明（設計）人: 門田道雄;中尾武志
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/145
• 分類號: H03H9/145;H01L41/09;H01L41/18;H03H9/25
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 張寶榮

技術領域

本發明涉及一種用作共振子、帶通濾波器的彈性表面波裝置；更詳細 地，本發明涉及一種具有下述構造的彈性表面波裝置，所述構造為采用了 填充于壓電基板上的槽中的金屬并形成了IDT的構造。

背景技術

以往，彈性表面波裝置廣泛用作共振子、帶通濾波器。例如，在下述 專利文獻1中公開了一種彈性表面波裝置1001，其具有如圖30概略表示 的截面構造。在彈性表面波裝置1001中，在LiTaO₃基板1002的上面1002a 上形成了多條槽1002。在多條槽1002b中填充金屬，從而形成具有由該金 屬構成的多根電極指的IDT1003。為覆蓋LiTaO₃基板1002的上面1002a， 層疊了SiO₂膜。由于LiTaO₃基板1002具有負的頻率溫度系數TCF，將具 有正的頻率溫度系數TCF的SiO₂膜1004層疊，可使彈性表面波裝置1001 的頻率溫度系數TCF的絕對值變小。另外，通過采用埋入多條槽1002b 中的金屬形成IDT，在IDT中可得到較大的反射系數。更具體地，當把表 面波的波長作為λ時，在將填充于槽1002b中的Al的厚度、即由Al構成 的IDT的厚度作為0.04λ的情況下，每1根電極指的反射系數為0.05，且 電極厚度越大，可得到越大的反射系數。

另一方面，在下述專利文獻2中公開了如圖31所示的彈性表面波裝 置。在彈性表面波裝置1101中，在由LiTaO₃或LiNbO₃構成的壓電基板 1102上形成了IDT1103。另外，以覆蓋IDT1103的方式形成了保護膜1104。 另一方面，在除去形成了IDT1103和保護膜1104的部分的殘留區域中， 形成由下述SiO₂構成的第1絕緣物層1105，所述第1絕緣物層1105與層 疊IDT1103和保護膜1104而成的層疊金屬膜具有同等厚度。以覆蓋第1 絕緣物層1105的方式，層疊由SiO₂組成的第2絕緣物層1106。這里，通 過采用密度比Al大的金屬作為IDT1103，可使反射系數的絕對值變大， 從而可抑制所不希望的紋波。

專利文獻1：WO2006/011417A1

專利文獻2：日本特開2004-112748號公報

發明內容

專利文獻1中表明，在其所述的彈性表面波裝置1001中，由Al構成 的IDT的厚度越大，反射系數的絕對值可以越大。但是本申請發明者發現， 僅僅增大反射系數的絕對值，并不能得到良好的共振特性。即，在專利文 獻1所述的彈性表面波裝置中，通過加厚由Al構成的電極的厚度，雖然 可增大反射系數的絕對值，但由于反射系數的符號為負，所以在帶通中生 成多數的紋波，不能得到良好的共振特性。

在專利文獻1中，關于IDT的厚度與反射系數的關系，僅對在LiTaO₃基板上采用由A1構成的IDT的情況進行了說明。在專利文獻1的段落0129 中，雖然提示可以采用Au等其他金屬形成IDT，但在該描述中僅說明了 在采用LiNbO₃基板的情況下可以采用Au等其他金屬。即，在專利文獻1 中并沒有提示，在采用LiTaO₃基板的情況下可以采用A1以外的金屬形成 IDT。

另一方面，如上所述，雖然在專利文獻2中表示，在采用由密度比 A1大的金屬構成的IDT的情況下可以提高反射系數絕對值，但在專利文 獻2中，僅表示了可提高反射系數的絕對值、抑制紋波，并不存在關于反 射系數的符號的暗示。另外，在專利文獻2中所述的彈性表面波裝置中， 還存在電氣機械結合系數k²小的問題。

本發明的目的在于提供一種彈性表面波裝置，其消除了以往技術的缺 點，采用LiTaO₃基板作為壓電基板，不僅IDT的反射系數充分增大而且 其符號為正，而且電氣機械結合系數k²較大，可得到良好的共振特性、濾 波器特性。