[發(fā)明專利]彈性表面波裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200880018400.8
• 申請日: 2008-04-25
• 公開（公告）號: CN101682308A
• 公開（公告）日: 2010-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 門田道雄;中尾武志
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/145
• 分類號: H03H9/145;H01L41/09;H01L41/18;H03H9/25
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 張寶榮

1.一種彈性表面波裝置，其特征在于，

其具備壓電基板和IDT，所述壓電基板由LiTaO₃基板構(gòu)成并在上面形 成有多條槽，所述IDT具有由填充于所述壓電基板的上面的多條槽中的金 屬所構(gòu)成的電極指，

當(dāng)所述金屬的密度為ρ(kg/m³)、剛度為C₄₄(N/m²)時，所述金屬滿足下 述式(1)所示的條件，

(ρ³×C₄₄)^1/2＞1.95×10¹¹????????…式(1)

其中，所述金屬材料為選自Mo、Ta、Au和Pt中的至少1種金屬或 以該金屬為主成分的合金。

2.一種彈性表面波裝置，其特征在于，

其具備壓電基板和IDT，所述壓電基板由LiTaO₃基板構(gòu)成并在上面形 成有多條槽，所述IDT具有由填充于所述壓電基板的上面的多條槽中的金 屬所構(gòu)成的電極指，

所述IDT由層疊了多個金屬膜的層疊金屬膜構(gòu)成，所述多個金屬膜由 選自Al、Au、Ta、W、Pt、Cu、Ni和Mo中的多個金屬分別構(gòu)成，

當(dāng)將構(gòu)成所述層疊金屬膜的各金屬膜的膜厚T與構(gòu)成各金屬膜的金 屬密度之積的總和，除以構(gòu)成所述層疊金屬膜的各金屬膜的厚度T的總和 所得的商作為平均密度，將該平均密度作為ρ(kg/m³)；將構(gòu)成所述層疊金 屬膜的各金屬膜的膜厚T與構(gòu)成各金屬膜的金屬剛度之積的總和除以構(gòu) 成所述層疊金屬膜的各金屬膜的厚度T的總和所得的商即平均剛度作為 C₄₄(N/m²)時，所述層疊金屬膜滿足下述式(1)所示條件，

(ρ³×C₄₄)^1/2＞1.95×10¹¹????????…式(1)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的彈性表面波裝置，其還具備覆蓋所述 IDT和所述壓電基板的由SiO₂或以SiO₂為主成分的無機(jī)材料構(gòu)成的電介 質(zhì)膜。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彈性表面波裝置，其中，在將彈性表面波的 波長作為λ時，由所述電介質(zhì)膜的λ標(biāo)準(zhǔn)化而成的標(biāo)準(zhǔn)化膜厚為0.05以上、 0.3以下。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的彈性表面波裝置，其中，所述LiTaO₃基板的切削角以歐拉角計為(0°±10°、70°～180°、0°±10°)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彈性表面波裝置，其中，所述LiTaO₃基板 的切削角以歐拉角計為(0°±10°、70°～180°、0°±10°)。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的彈性表面波裝置，其中，所述LiT_aO₃基板 的切削角以歐拉角計為(0°±10°、70°～180°、0°±10°)。