[發明專利]用于分層加熱器的高功率電氣接頭

有效

• 申請號: 200880008510.6
• 申請日: 2008-03-04
• 公開（公告）號: CN101636824A
• 公開（公告）日: 2010-01-27
• 發明（設計）人: 阿諾德·霍洛堅科;拉塞爾·馬丁;約翰·拉斯尼克;克里斯托弗·金博爾
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01L21/324
• 分類號: H01L21/324
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 余 剛;吳孟秋

技術領域

本發明涉及能夠向加熱器輸送電流的電氣接頭。該接頭特別適 合于向晶圓處理室的室蓋中發現的薄膜分層加熱器類型輸送電流。

發明綜述

一般而言，本發明涉及用于通過處理室蓋(例如用于晶圓處理 室的蓋)提供電流的一類電氣接頭。

一方面，本發明涉及具有限定了前后方向的縱軸的處理室電氣 接頭。該種電氣接頭包含了具有前表面和后表面的電絕緣接頭罩； 沿該縱軸延伸并由該接頭罩的后表面伸出的電絕緣軸套；沿該縱軸 延伸并從該接頭罩前表面伸出的電絕緣釋放罩；處于該軸套中的導 電接觸軸，該接觸軸具有終止于該接頭罩后表面上方的前端，以及 配備了至少一個電接觸墊的后端；以及占據了介于該導電接觸軸和 該電絕緣軸套之間的該中空軸套腔一部分的彈簧，該彈簧使該接觸 軸偏向向后的方向。

另一方面，本發明涉及處理室蓋組件，其包含具有上表面和底 面的處理室蓋，在該底面上配備了上電極模塊，該上電極模塊包含 至少一個加熱器。多個前述電氣接頭被安裝在該室蓋中，且每個電 氣接頭的至少一個電接觸與該至少一個加熱器(150)相接觸。

附圖說明

本發明通過一系列的圖例對一個或多個優選實施方式進行了 描述，其中：

圖1顯示了根據本發明的室蓋的頂部透視圖。

圖2顯示了根據本發明的室蓋組件的頂部透視圖。

圖3顯示了圖2中的室蓋組件120沿線III-III的橫截面側視圖。

圖4A和圖4B分別顯示了根據本發明的一個實施方式的電氣 接頭的頂視圖和側視圖。

圖5顯示了電氣接頭的分解圖。

圖6顯示了沿圖4A的線VI-VI在電氣接頭長度上的第一橫截 面視圖。

圖7顯示了沿圖4A的線VII-VII在電氣接頭長度上的第二橫截 面視圖。

圖8顯示了在室蓋中的電氣接頭的橫截面。

圖9A和9B分別顯示了加熱器上表面的透視圖和該加熱器的 局部放大視圖。

圖10A顯示了電氣接頭的后端的透視圖。

圖10B顯示了電氣接頭與電加熱器的接觸墊的電接觸。

優選實施方式的具體描述

圖1顯示了處理室蓋100的透視圖，其具有總體方形的上表面 102和四個側面104。在一個實施方式中，該室蓋100被配置為密 封晶圓處理室(例如配置為實施半導體處理的室)的上部開口。該 室蓋100配備了多個開口，總體顯示為110，其用于以已知的方式 容納各種導管、設備和固定裝置，從而提供一種或多種氣體、化學 品、真空等。分別根據本發明的一個實施方式的多個電氣接頭200 被固定在該室蓋100上。

如圖1的實施方式所示，共提供了三個該種電氣接頭200，且 它們彼此分離。在一個實施方式中，這三個電氣接頭彼此分離，從 而形成以該室蓋的中央為中心的三角形。由該三個電氣接頭形成的 三角形可以是等邊三角形。如下文的詳細描述，這三個接頭可用于 向加熱元件提供三相電功率。

圖2顯示了包含圖1的室蓋100的室蓋組件120(此處顯示了 其外罩被去除的情況)，以及安裝在該上表面102上的包括印刷電 路板、閥等一系列大量的其它的電氣和機械元件。

圖3顯示了圖2的室蓋組件120沿線III-III并通過一個電氣接 頭(在本圖中命名為200A)的橫截面側視圖。如圖中所示，該室 蓋組件120包含了前述室蓋100，連同上電極模塊130。該上電極 模塊130被固定在室蓋100的底面134上的凹槽132上，并在室蓋 側面向內設置。這樣，該上電極模塊130具有比室蓋100小的占位 面積(footprint)。