[發明專利]用于分層加熱器的高功率電氣接頭

有效

• 申請號: 200880008510.6
• 申請日: 2008-03-04
• 公開（公告）號: CN101636824A
• 公開（公告）日: 2010-01-27
• 發明（設計）人: 阿諾德·霍洛堅科;拉塞爾·馬丁;約翰·拉斯尼克;克里斯托弗·金博爾
• 申請（專利權）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01L21/324
• 分類號: H01L21/324
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 余 剛;吳孟秋

1.具有限定了前后方向的縱軸(L)的處理室電氣接頭(200)，其包 含：

電絕緣接頭罩(240)，其具有前表面(242)和后表面(246)；

電絕緣軸套(250)，其沿該縱軸(L)延伸，并由該接頭罩(240)的 后表面(246)突出；

電絕緣釋放罩(210)，其沿該縱軸(L)延伸，并由該接頭罩(240) 的前表面(242)突出；

導電接觸軸(270)，其處于該軸套(250)中，該接觸軸(270)具有 終止于該接頭罩(240)的后表面(246)之上的前端(270A)，以及配備了 至少一個第一電接觸墊(274)的后端(270B)；以及

彈簧(260)，其占據了介于該導電接觸軸(270)和該電絕緣軸套 (250)之間的中空軸套腔(255)的一部分，該彈簧(260)使該接觸軸(270) 偏向向后的方向。

2.如權利要求1所述的電氣接頭，其進一步包含：第二電接觸墊 (220)，其與該接觸軸(270)的該前端(270A)形成電連接，并伸 入該釋放罩(210)中。

3.如權利要求2所述的電氣接頭，其中：該接觸軸(270)的該前 端(270A)與該第二電接觸墊(220)螺紋連接。

4.如權利要求2所述的電氣接頭，其進一步包含：

隔離套管(230)，其處于在該接頭罩(240)的該前表面(242)中形 成的中央腔(243)中，該隔離套管(230)具有中央開口(232)，并通過 所述釋放罩(210)保留在該中央腔(243)中。

5.如權利要求4所述的電氣接頭，其中：

該第二電接觸墊(220)滑動容納于該隔離套管(230)的該中央開 口(232)中。

6.如權利要求5所述的電氣接頭，其中：

該電絕緣軸套(250)與該電絕緣接頭罩(240)的底部螺紋連接， 該軸套(250)具有比該接頭罩(240)小的橫截面寬度；且

該電絕緣釋放罩(210)與該電絕緣接頭罩(240)的頂部螺紋連 接，該釋放罩(210)具有比該接頭罩(240)小的橫截面寬度。

7.如權利要求6所述的電氣接頭，其中：

該第一電接觸墊(274)包含了可壓縮金屬接觸彈簧(278)。

8.如權利要求7所述的電氣接頭，其中：

該接觸軸(270)的該前端(270A)與該第二電接觸墊(220)螺紋連 接。

9.如權利要求1所述的電氣接頭，其中：

該第一電接觸墊(274)包含了可壓縮金屬接觸彈簧(278)。

10.如權利要求1所述的電氣接頭，其進一步包含：

隔離套管(230)，其處于在該接頭罩(240)的該前表面(242)中形 成的中央腔(243)中，該隔離套管(230)具有中央開口(232)，并通過 所述釋放罩(210)保留在該中央腔(243)中。

11.如權利要求1所述的電氣接頭，其中：

該電絕緣軸套(250)與該電絕緣接頭罩(240)的底部螺紋連接， 該軸套(250)具有比該接頭罩(240)小的橫截面寬度；且

該電絕緣釋放罩(210)與該電絕緣接頭罩(240)的頂部螺紋連 接，該釋放罩(210)具有比該接頭罩(240)小的橫截面寬度。

12.如權利要求1所述的電氣接頭，其中：

該電絕緣接頭罩(240)和該電絕緣軸套(250)具有單一構造。

13.處理室蓋組件(102)，其包含：

具有上表面(102)和底面(134)的處理室蓋(100)，在所述底面 (134)上配備的上電極模塊(130)，該上電極模塊(130)包含了至少一 個加熱器(150)；以及

安裝在該室蓋(100)上的多個處理室電氣接頭(200)；其中

每個電氣接頭具有限定了前后方向的縱軸(L)，并包含：

電絕緣接頭罩(240)，其具有前表面(242)和后表面(246)；

電絕緣軸套(250)，其沿該縱軸(L)延伸，并由該接頭罩 (240)的后表面(246)突出；

電絕緣釋放罩(210)，其沿該縱軸(L)延伸，并由該接頭罩 (240)的前表面(242)突出；

導電接觸軸(270)，其處于該軸套(250)中，該接觸軸(270) 具有終止于該接頭罩(240)的后表面(246)之上的前端(270A)， 以及配備了至少一個電接觸(274)的后端(270B)；以及

彈簧(260)，其占據了介于該導電接觸軸(270)和該電絕緣 軸套(250)之間的環形空間的一部分，該彈簧(260)使該接觸軸 (270)偏向向后的方向，且

每個電氣接頭(200)的該至少一個電接觸(274)接觸該加 熱器(150)。