[發(fā)明專利]用于等離子體處理裝置的組合噴淋頭電極組件的清潔硬件套件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200880008159.0
• 申請(qǐng)日: 2008-03-12
• 公開（公告）號(hào): CN101632158A
• 公開（公告）日: 2010-01-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杰森·奧古斯蒂諾;查爾斯·瑞星
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號(hào): H01L21/3065
• 分類號(hào): H01L21/3065
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 余 剛;吳孟秋

1.一種用于清潔等離子體反應(yīng)室的組合噴淋頭電極的清潔套件，

其中該組合噴淋頭電極包括粘著于鋁支承板的硅板，該套件包含：

電極載臺(tái)，其支撐該組合噴淋頭電極，該硅板朝上；

處理支架，其具有底部和多個(gè)嚙合該電極載臺(tái)并支撐該電極載臺(tái)的支柱；

固定于該電極載臺(tái)的第一側(cè)的第一板和一個(gè)或多個(gè)固定構(gòu)件，該固定構(gòu)件嚙合該鋁支承板以支撐該組合噴淋頭電極，該硅板露出以對(duì)其進(jìn)行清潔；

第二板，其固定于該電極載臺(tái)的該第一側(cè)以便該第一板位于該第二板和該組合噴淋頭電極之間的空間，該第二板包括嚙合該電極載臺(tái)的該第一側(cè)的密封墊以及進(jìn)氣口，通過(guò)該進(jìn)氣口將氣體在一定壓強(qiáng)下引入以使其流入該鋁支承板中的氣孔并流出該硅板中的相應(yīng)氣孔，該第二板在對(duì)該硅板的暴露表面的進(jìn)行酸清洗的過(guò)程中允許氣體流過(guò)該氣孔；

第三板，其固定于該電極載臺(tái)的第二側(cè)，該硅板朝上，該第三板包括嚙合該電極載臺(tái)的密封墊和進(jìn)水口，通過(guò)該進(jìn)水口將水在一定壓強(qiáng)下引入，以使其流入該硅板中的氣孔并流出該鋁支承板中的相應(yīng)氣孔，該第三板允許低壓水流過(guò)該氣孔以在清潔該硅板的暴露表面之后用水漂洗該組合噴淋頭電極；

干燥支架，其具有底部框架和多個(gè)柱，該底部框架支撐該電極載臺(tái)和該組合噴淋頭電極以便可以將該電極載臺(tái)從該組合噴淋頭電極移除而不用手接觸該組合噴淋頭電極；

第四板，其包括嚙合該底部框架的密封墊和進(jìn)氣口，通過(guò)該進(jìn)氣口將氣體在一定壓強(qiáng)下引入，以流入該硅板中的氣孔并流出該鋁支承板中的相應(yīng)氣孔，該第四板允許氣體在水漂洗步驟之后干燥該組合噴淋頭電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的套件，其中該電極載臺(tái)包含由至少一個(gè)緊固件固定起來(lái)的第一和第二部件，該第一和第二部件包括適于圍繞該組合噴淋頭電極外側(cè)的內(nèi)周，以及一個(gè)或多個(gè)向內(nèi)延伸的凸塊，其嚙合該鋁支承板的暴露表面。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的套件，其中該第一部件包括向外延伸的凸起部，在該凸起部中的橫向延伸的開口和支撐在該開口中的指旋螺絲，該第二部件包括向外延伸的具有螺紋開口的凸起部，該螺紋開口接收該指旋螺絲以將該第一和第二部件固定起來(lái)，該電極載臺(tái)包括相對(duì)的把手以允許手動(dòng)提起該電極載臺(tái)，該電極載臺(tái)上支撐有該組合噴淋頭電極，該一個(gè)或多個(gè)凸塊包含三個(gè)在第一部件上的凸塊和三個(gè)在該第二部件上的凸塊，該處理支架包括三個(gè)柱，且該電極載臺(tái)在其每一側(cè)包括至少三個(gè)孔，該三個(gè)孔配置為接收該處理支架的該三個(gè)柱的末端。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的套件，其中該電極載臺(tái)在其內(nèi)周包括多個(gè)縱向延伸的狹槽，該狹槽與環(huán)形延伸的凹溝連通，且該第一板包括多個(gè)凸緣，該多個(gè)凸緣配置為在該狹槽內(nèi)縱向移動(dòng)并在該第一板相對(duì)于電極載臺(tái)旋轉(zhuǎn)時(shí)在該凹溝內(nèi)滑動(dòng)，該一個(gè)或多個(gè)固定構(gòu)件包含指旋螺絲，其可以被螺入該鋁支承板中的螺紋開口。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的套件，其中該第一板包括四個(gè)凸緣和四個(gè)指旋螺絲。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的套件，其中該第二板包括多個(gè)縱向延伸的鎖定凸緣，該鎖定凸緣在其下端具有環(huán)形延伸的凸輪表面，該電極載臺(tái)在其外周上包括多個(gè)縱向延伸的狹槽，該鎖定凸緣配置為沿著該狹槽縱向移動(dòng)，且該凸輪表面配置為當(dāng)該第二板相對(duì)于該電極載臺(tái)旋轉(zhuǎn)時(shí)嚙合該電極載臺(tái)的該第二側(cè)并壓緊該密封墊。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的套件，其中該第二板在其相對(duì)兩側(cè)包括向外突出的一對(duì)把手。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的套件，其中該第三板包括多個(gè)縱向延伸的鎖定凸緣，該鎖定凸緣在其下端具有環(huán)形延伸的凸輪表面，該電極載臺(tái)在其外周上包括多個(gè)縱向延伸的狹槽，該鎖定凸緣配置為沿著該狹槽縱向移動(dòng)，且該凸輪表面配置為當(dāng)該第三板相對(duì)于該電極載臺(tái)旋轉(zhuǎn)時(shí)嚙合該電極載臺(tái)的該第一側(cè)并壓緊該密封墊。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的套件，其中該底部框架包括四個(gè)柱，該柱在其末端有螺紋竿，且該第四板包括四個(gè)有開口的臂，該臂中的該開口沿著該柱滑動(dòng)，該套件包括四個(gè)手螺母，其嚙合該螺紋竿以便向下壓該臂以將該第四板密封到該底部框架。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的套件，其中該底部框架包括尺寸與該組合噴淋頭電極相近的中心開口和多個(gè)支承構(gòu)件，該支撐構(gòu)件從該底部框架的上表面向上縱向延伸以嚙合該鋁支承板，該多個(gè)支柱和該電極載臺(tái)配置為允許從該組合噴淋頭電極移除該電極載臺(tái)。