[發明專利]組裝至少兩個板的方法及該方法用于制備離子束濺射組合件的應用

有效

• 申請號: 200880007273.1
• 申請日: 2008-03-03
• 公開（公告）號: CN101646798A
• 公開（公告）日: 2010-02-10
• 發明（設計）人: 米歇爾·馬丁;菲利普·毛林-佩里耶;克里斯托弗·埃奧;奧利維耶·布朗德內
• 申請（專利權）人: H.E.F.公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 顧晉偉;王春偉

本發明涉及在支撐板上的離子束濺射靶組合件的技術領域。

更一般地，本發明可應用于任何類型的兩板間具有精確間隔的組合件。 制備兩板間具有精確間隔的組合件的這種需求對于在真空薄膜沉積應用 的所有領域(微電子學、機械工程、汽車、光學、平板顯示器、包裝膜等) 中使用的濺射靶而言是特別重要的。

本領域技術人員眾所周知的是，使用陽極和陰極間的等離子體與氣體 (如氬氣)的組合，利用直流電或脈沖電流或高頻電流，減壓下在腔室內 進行物理氣相沉積。

可參照圖1，其中示意性示出物理氣相沉積室的主要元件。

在這個離子束濺射的例子中，陽極由室壁(A)構成，而陰極由作為 離子轟擊焦點的濺射靶(F)構成。靶(F)的原子在基體(I)上冷凝形 成薄膜沉積物(H)。靶(F)固定于通常與冷卻元件(C)相連的支撐板 (D)上。

靶(F)通過接合或密封系統(B)固定于支撐板(D)上。

濺射靶與支撐板之間的接合體必須滿足某些要求，尤其是耐溫、導熱、 導電、真空脫氣、靶污染等的能力。

為制備濺射靶與支撐板間的接合體和組合件已經提出了各種技術方 案。例如，可以使用在靶和支撐板之間形成的連續焊料層。

根據文件US?2006/0266643的教導，利用由膠構成的薄膜結合格柵制 備接合體。根據文件US?20060283703，膠層由未指明幾何形狀(寬、高、 長)的線、或平行線、或形成網絡的線或形成同心環的線形成。

這些不同的方法有助于獲得滿意的結果，但是難以實現。具體而言， 最大的困難在于調整膠層的厚度，例如文件WO2006/132916中所提到的。 另外，所用膠必須提供某些特定特性，而這些特定特性通常都是高成本的。 在所用靶的形狀和尺寸方面也可能出現困難。

如文件WO?2006/132916中所提到的，當置于真空中時，由于形成與 外壓減小有關且存留在密封材料內的氣泡，因此在膠層中存留氣體可導致 密封材料的堅固性下降。

本發明的一個目的是簡單、安全、有效和高效地消除這些缺點。

本發明提出的所要解決的問題是能夠制備在其支撐物上的任何形狀 (分段或不分段、大尺寸或小尺寸)的平面靶組合件，目的是獲得厚度高 度均勻的固定區域，特別是獲得均勻導熱性和良好的耐熱沖擊性能。

為解決這個問題，設計并開發了一種用于組裝這兩個板的方法，包括：

-在一個板上以相互間隔的方式設置粘合劑材料的液滴；

-在接收液滴的板上施加具有小于液滴厚度的預定厚度的格柵；

-在至少一個板上施加垂直均勻的壓力，使得液滴鋪展并與兩個板的 相對表面接觸；

-液滴的間隔限定為：使得在所施加的壓力下鋪展之后，在液滴之間 不存留空氣。

如上所述，本發明在真空薄膜沉積領域具有特別有利的應用，其應用 方式為一個板構成濺射靶而另一個板構成所述靶的支撐物。

為解決由粘合劑材料膜提供的密封材料獲得恒定和準確的厚度的問 題，格柵限定具有小于液滴面積的任意幾何形狀的開口。格柵的開口比例 為20％到50％。

根據另一特征，粘合劑材料是膠。該膠選擇為在環境溫度下接觸潮濕 空氣時聚合。該膠是乙酰氧基類型的硅氧烷彈性體。

以下結合附圖更詳細地描述本發明，其中：

-圖1示出物理氣相沉積室的主要元件的示意圖；

-圖2、3、4、5、6、7和8示出可根據本發明特征使用的平面靶的各種 指示性和非限制性的示例實施方案；

-圖9是示出其中一個板具有膠滴網絡的實施例的局部視圖和平面視圖；

-圖10示出根據本發明特征的濺射靶組裝在支撐板上之前的示意截面圖；

-圖11示出擠壓對應于支撐板上靶的組合件的兩個板之后，對應于圖10 的視圖。

以下的說明應用于兩個板(1)和(2)的固定，其中一個板(1)構成 濺射靶而另一個板(2)構成支撐板。

這個實施例不應認為是限制性的。