[發明專利]組裝至少兩個板的方法及該方法用于制備離子束濺射組合件的應用

有效

• 申請號: 200880007273.1
• 申請日: 2008-03-03
• 公開（公告）號: CN101646798A
• 公開（公告）日: 2010-02-10
• 發明（設計）人: 米歇爾·馬丁;菲利普·毛林-佩里耶;克里斯托弗·埃奧;奧利維耶·布朗德內
• 申請（專利權）人: H.E.F.公司
• 主分類號: C23C14/00
• 分類號: C23C14/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 顧晉偉;王春偉

1.一種用于組裝至少兩個板(1、2)的方法，其特征在于：

-在一個板(2)上以相互間隔的方式設置粘合劑材料的液滴(3)；

-在接收所述液滴(3)的所述板(2)上施加具有小于所述液滴(3) 厚度的預定厚度的格柵(5)；

-對所述板中的至少一個施加垂直均勻的壓力，使得所述液滴(3)鋪 展并與所述兩個板(1、2)的相對表面接觸；

-所述液滴的間隔(4)限定為：使得在所施加壓力下鋪展之后，在所 述液滴之間不存留空氣。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述格柵(5)限定開口， 所述開口具有小于所述液滴的面積和任意幾何形狀。

3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述格柵的開口比例為20％ 到50％。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述粘合劑材料是膠。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于：所述膠選擇為在環境溫度 下接觸潮濕空氣時聚合。

6.根據權利要求4所述的方法，其特征在于：所述膠是乙酰氧基類型的 硅氧烷彈性體。

7.根據權利要求1-6中任一項所述的用于組裝至少兩個板(1、2)的方 法用于制備離子束濺射靶的應用，其中一個板(1)構成所述靶，而另一個 板構成所述靶的支撐物。

8.一種真空離子束濺射組合件，包括靶和支撐物，其特征在于：所述靶 (1)經由根據權利要求1-6中任一項所述的方法固定于所述支撐物(2) 上。