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[實用新型]集成電路組件堆棧的絕緣結構有效

專利信息
申請號: 200820302167.3 申請日: 2008-09-18
公開(公告)號: CN201307592Y 公開(公告)日: 2009-09-09
發明(設計)人: 馬嵩荃;鄒尚志 申請(專利權)人: 茂邦電子有限公司
主分類號: H01L23/50 分類號: H01L23/50
代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 代理人: 何 為
地址: 中國臺灣桃園縣蘆*** 國省代碼: 中國臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 集成電路 組件 堆棧 絕緣 結構
【權利要求書】:

【權利要求1】一種集成電路組件堆棧的絕緣結構,其包括晶粒、金屬層、及多數絕緣單元,該金屬層層疊于上述晶粒的一面上,且該金屬層上具有多數連通晶粒的置放區;其特征在于:所述數絕緣單元分別設于所述各置放區中,且各絕緣單元由鋁合金制成。

【權利要求2】如權利要求1所述的集成電路組件堆棧的絕緣結構,其特征在于:所述各置放區由金屬層配合光阻形成。

【權利要求3】如權利要求1所述的集成電路組件堆棧的絕緣結構,其特征在于:所述各絕緣單元于一絕緣槽中形成。

【權利要求4】如權利要求1所述的集成電路組件堆棧的絕緣結構,其特征在于:所述金屬層與各絕緣單元的頂面上進一步設有拋光面。

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2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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