[實用新型]300mm立式氧化爐的報警系統

有效

• 申請號: 200820234109.1
• 申請日: 2008-12-31
• 公開（公告）號: CN201382681Y
• 公開（公告）日: 2010-01-13
• 發明（設計）人: 程朝陽;曾艷麗;王曉衛;米奇.阿伽穆罕默德
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F27B1/28
• 分類號: F27B1/28;G08B19/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于一種硅片加工裝置，具體的是一種用于硅片氧化工藝的立式氧化爐的報警系統。

背景技術

硅片是一種重要的半導體材料，它的加工工藝，特別是氧化工藝是一種對系統穩定性要求非常高的工藝。目前國內設計的硅片氧化爐大多是臥式結構的，系統穩定性需要改進。特別是工藝過程中的報警、安全性報警需要進一步完善。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決上述技術問題，提出一種300mm立式氧化爐的報警系統，該報警系統設計完善合理，控制集中靈活，保證設備正常安全運行效果好。

本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的：300mm立式氧化爐的報警系統，其特征在于：設有冷卻系統水流量報警裝置、工藝氣體壓力報警裝置、源溫控制與漏液報警裝置、工藝氣體泄漏報警裝置、內環境壓力報警裝置、設備安全門互鎖報警裝置、點火器火焰檢測報警裝置；

所述冷卻系統水流量報警裝置設有流量計組，該流量計組中的流量計分別與立式氧化爐的石英管法蘭、外點火器、石英舟、爐體法蘭、工藝門、爐體、PTI冷凝器的水冷卻管連通，并且該所有流量計都集中安裝在水盒中，在該水盒底部設置有進行液位檢測的光電傳感器，該流量計及光電傳感器與可編程控制器PLC進行連接；

所述工藝氣體壓力報警裝置，包括氣體壓力傳感器組，該壓力傳感器設置在工藝氣體：氮、氫、氧和一氧化氮的管路中，設有氣路箱，所述氣體壓力傳感器都集中安裝在該氣路箱里，氣路箱還設置有門開關，所述氣體壓力傳感器及門開關與可編程控制器PLC連接；

所述源溫控制與漏液報警裝置，設有源溫控制器和流量開關，該源溫控制器和流量開關設置在工藝液體的液源管路上，并設有漏液檢測傳感器，還設有源溫控制器盒，所述源溫控制器、流量開關、檢測傳感器都集中安裝在該控制器盒內，該控制器盒設有門開關，該門開關及所述源溫控制器、檢測傳感器與可編程控制器PLC連接；

所述工藝氣體泄漏報警裝置，包括在爐口處設置的HCL檢測傳感器，在外點火器處設置的H2檢測傳感器、在源溫控制器上設置的HCL檢測傳感器、在氣路盒內部設置的H2和NO檢測傳感器；所述傳感器與控制器及可編程控制器PLC連接；

所述內環境壓力報警裝置，包括控制氣路柜排氣出口、爐體排氣出口和爐口排氣出口排氣壓力的壓差計組，該壓差計組與控制器PLC連接；

所述設備安全門互鎖報警裝置，包括在后檢修門上安裝的門開關，并設有氧氣分析儀，該門開關及氧氣分析儀與控制器PLC連接；

所述外點火器火焰檢測報警裝置，包括在外點火器處設置的火焰檢測器。該火焰檢測器與可編程控制器PLC連接；所述控制器PLC與上位機連接。

所述可編程控制器PLC為一個或多個。

本實用新型設置了大量的報警信息提供裝置和信息處理的控制器PLC，以及接收PLC信息并進行判斷和發出報警控制信號的上位機，這些組成了完備的報警系統，使設備的一些故障及時反饋給操作者，方便操作人員查找故障，盡快恢復相應工序的運行，避免不必要的損失。這個報警系統保證了立式氧化爐在做工藝時的安全可靠性，減少了故障的發生概率，提高產品的合格率。系統還充分從操作人員的安全性方面考慮，設置了一些工作環境的檢測報警，防止一些有毒或者大量惰性氣體對人體產生傷害和使人窒息等情況的發生。在系統運行過程中還增加了一些問詢報警，這些報警對正在運行的爐體系統不產生影響，主要是為了提醒操作人員爐體某些工序目前的運行狀況，提醒工作人員注意，及時消除隱患。因此，本實用新型具有結構完善，整體性強，報警控制全面，控制靈活，能充分保障氧化爐正常安全行的優點。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明：實施例：參見附圖，300mm立式氧化爐的報警系統，設有冷卻系統水流量報警裝置、工藝氣體壓力報警裝置、源溫控制與漏液報警裝置、工藝氣體泄漏報警裝置、內環境壓力報警裝置、設備安全門互鎖報警裝置、點火器火焰檢測報警裝置；

所述冷卻系統水流量報警裝置設有流量計組，該流量計組中的流量計1.2分別與立式氧化爐的石英管法蘭11、外點火器6、石英舟13、爐體法蘭14、工藝門15、爐體16、PTI冷凝器19的水冷卻管連通，并且該所有流量計1.2都集中安裝在水盒1中，在該水盒底部設置有進行液位檢測的光電傳感器1.1，該流量計及光電傳感器與可編程控制器PLC?10進行連接；