[實用新型]300mm立式氧化爐的報警系統

有效

• 申請號: 200820234109.1
• 申請日: 2008-12-31
• 公開（公告）號: CN201382681Y
• 公開（公告）日: 2010-01-13
• 發明（設計）人: 程朝陽;曾艷麗;王曉衛;米奇.阿伽穆罕默德
• 申請（專利權）人: 北京七星華創電子股份有限公司
• 主分類號: F27B1/28
• 分類號: F27B1/28;G08B19/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種300mm立式氧化爐的報警系統，其特征在于：設有冷卻系統水流量報警裝置、工藝氣體壓力報警裝置、源溫控制與漏液報警裝置、工藝氣體泄漏報警裝置、內環境壓力報警裝置、設備安全門互鎖報警裝置、點火器火焰檢測報警裝置；

所述冷卻系統水流量報警裝置設有流量計組，該流量計組中的流量計(1.2)分別與立式氧化爐的石英管法蘭(11)、外點火器(6)、石英舟(13)、爐體法蘭(14)、工藝門(15)、爐體(16)、PTI冷凝器(19)的水冷卻管連通，并且該所有流量計(1.2)都集中安裝在水盒(1)中，在該水盒底部設置有進行液位檢測的光電傳感器(1.1)，該流量計及光電傳感器與可編程控制器PLC(10)進行連接；

所述工藝氣體壓力報警裝置，包括氣體壓力傳感器組，該壓力傳感器(2.2)設置在工藝氣體：氮、氫、氧和一氧化氮的管路中，設有氣路箱(2)，所述氣體壓力傳感器都集中安裝在該氣路箱里，氣路箱還設置有門開關(2.1)，所述氣體壓力傳感器及門開關與可編程控制器PLC(10)連接；

所述源溫控制與漏液報警裝置，設有源溫控制器(5.2)和流量開關(5.1)，該源溫控制器和流量開關設置在工藝液體的液源管路上，并設有漏液檢測傳感器(5.4)，還設有源溫控制器盒(5)，所述源溫控制器、流量開關、檢測傳感器都集中安裝在該控制器盒內，該控制器盒設有門開關(5.3)，該門開關及所述源溫控制器、檢測傳感器與可編程控制器PLC(10)連接；

所述工藝氣體泄漏報警裝置，包括在爐口處設置的HCL檢測傳感器(8.1)，在外點火器(6)處設置的H2檢測傳感器(6.1)、在源溫控制器上設置的HCL檢測傳感器(5.5)、在氣路盒(2)內部設置的H2(2.3)和NO(2.4)檢測傳感器；所述傳感器與控制器組(3)及可編程控制器PLC(10)連接；

所述內環境壓力報警裝置，包括控制氣路柜排氣出口(7)、爐體排氣出口(9)、爐口排氣出口(8)排氣壓力的壓差計組(4)，該壓差計組與控制器PLC連接；

所述設備安全門互鎖報警裝置，包括在后檢修門上安裝的門開關(12)，和氧氣分析儀(18)，該門開關及氧氣分析儀與控制器PLC(10)連接；

所述外點火器火焰檢測報警裝置，包括在外點火器(6)處設置的火焰檢測器(6.2)。該火焰檢測器與可編程控制器PLC(10)連接；

所述控制器PLC與上位機連接。