[實用新型]300mm立式氧化爐的報警系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200820234109.1 | 申請日: | 2008-12-31 |
| 公開(公告)號: | CN201382681Y | 公開(公告)日: | 2010-01-13 |
| 發(fā)明(設計)人: | 程朝陽;曾艷麗;王曉衛(wèi);米奇.阿伽穆罕默德 | 申請(專利權)人: | 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司 |
| 主分類號: | F27B1/28 | 分類號: | F27B1/28;G08B19/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 100016*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 300 mm 立式 氧化 報警 系統(tǒng) | ||
1、一種300mm立式氧化爐的報警系統(tǒng),其特征在于:設有冷卻系統(tǒng)水流量報警裝置、工藝氣體壓力報警裝置、源溫控制與漏液報警裝置、工藝氣體泄漏報警裝置、內(nèi)環(huán)境壓力報警裝置、設備安全門互鎖報警裝置、點火器火焰檢測報警裝置;
所述冷卻系統(tǒng)水流量報警裝置設有流量計組,該流量計組中的流量計(1.2)分別與立式氧化爐的石英管法蘭(11)、外點火器(6)、石英舟(13)、爐體法蘭(14)、工藝門(15)、爐體(16)、PTI冷凝器(19)的水冷卻管連通,并且該所有流量計(1.2)都集中安裝在水盒(1)中,在該水盒底部設置有進行液位檢測的光電傳感器(1.1),該流量計及光電傳感器與可編程控制器PLC(10)進行連接;
所述工藝氣體壓力報警裝置,包括氣體壓力傳感器組,該壓力傳感器(2.2)設置在工藝氣體:氮、氫、氧和一氧化氮的管路中,設有氣路箱(2),所述氣體壓力傳感器都集中安裝在該氣路箱里,氣路箱還設置有門開關(2.1),所述氣體壓力傳感器及門開關與可編程控制器PLC(10)連接;
所述源溫控制與漏液報警裝置,設有源溫控制器(5.2)和流量開關(5.1),該源溫控制器和流量開關設置在工藝液體的液源管路上,并設有漏液檢測傳感器(5.4),還設有源溫控制器盒(5),所述源溫控制器、流量開關、檢測傳感器都集中安裝在該控制器盒內(nèi),該控制器盒設有門開關(5.3),該門開關及所述源溫控制器、檢測傳感器與可編程控制器PLC(10)連接;
所述工藝氣體泄漏報警裝置,包括在爐口處設置的HCL檢測傳感器(8.1),在外點火器(6)處設置的H2檢測傳感器(6.1)、在源溫控制器上設置的HCL檢測傳感器(5.5)、在氣路盒(2)內(nèi)部設置的H2(2.3)和NO(2.4)檢測傳感器;所述傳感器與控制器組(3)及可編程控制器PLC(10)連接;
所述內(nèi)環(huán)境壓力報警裝置,包括控制氣路柜排氣出口(7)、爐體排氣出口(9)、爐口排氣出口(8)排氣壓力的壓差計組(4),該壓差計組與控制器PLC連接;
所述設備安全門互鎖報警裝置,包括在后檢修門上安裝的門開關(12),和氧氣分析儀(18),該門開關及氧氣分析儀與控制器PLC(10)連接;
所述外點火器火焰檢測報警裝置,包括在外點火器(6)處設置的火焰檢測器(6.2)。該火焰檢測器與可編程控制器PLC(10)連接;
所述控制器PLC與上位機連接。
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