[實用新型]制備硅電容差壓傳感器用測試夾具

無效

• 申請號: 200820231308.7
• 申請日: 2008-12-09
• 公開（公告）號: CN201307049Y
• 公開（公告）日: 2009-09-09
• 發明（設計）人: 陳玉玲;劉波;匡石;劉沁;王勃;張哲
• 申請（專利權）人: 沈陽儀表科學研究院
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 沈陽科威專利代理有限責任公司
• 代理人: 崔紅梅

技術領域

本實用新型涉及傳感器的制備，一種制備硅電容差壓傳感器用測試夾具。

背景技術

目前在硅電容差壓傳感器制備的測試中普遍采用一對容室夾緊單只傳感器的方法。這種傳統的夾具方式費時、費力，測試夾具占用空間大，并且手動分別測試單只，各只傳感器的夾緊程度很難控制一致，單只測試無整體比較和對照，一定程度上影響測試結果。面對現在國內硅電容傳感器市場激烈的競爭態勢，單只裝配夾具的方法已遠遠不能滿足批量測試的生產需求。

發明內容

本新型的目的是提供一種制備硅電容差壓傳感器用測試夾具，可以一次性夾緊7只傳感器，同時加壓測試，一致性好，省時省力，效率高，提高了檢測質量。

制備硅電容差壓傳感器用測試夾具，包括水平、定位、夾緊、氣路、密封部分，其特征在于傳感器定位機構：將左容室、六個中間容室、右容室依次置于左、右支撐座之間，七個V型支撐分別置于各容室之間，導桿穿過容室、V型支撐、左、右支撐座上的導桿孔并固定；壓緊螺絲旋過右支撐座、套上壓緊座構成夾緊機構；各容室的導氣孔與底盤的導氣孔方向一致，各容室的導氣孔通過管路與底盤的導氣槽連通形成導氣通道，各容室均有O型密封圈。

本設計解決了制備硅電容差壓傳感器批量生產中最后一關的瓶頸問題，顯著提高效率、減少各只的檢測誤差、耐壓、省時省力。從各個零件的設計都為實現這一目的提供了保證。滿足了在受測試壓力10-16Mpa時的零件形變不會影響整個夾具的密封性，左、右支撐座、容室導桿孔的設計及V型支撐結構的設計，保證了所有被測傳感器同心、不會產生軸向運動，進而達到了測試過程中密封要求。夾具的氣路機構設計是為一種差壓傳感器測試所用，這種導氣方式能滿足差壓傳感器的正、負腔同時和分別加壓的測試需求，同時使測試過程氣流量最小化。

附圖說明

圖1是本新型的夾具結構示意圖；

圖2是本夾具中的地腳座結構與氣路連接示意圖；

圖3是V型支撐座示意圖；

具體實施方式

本新型制備硅電容差壓傳感器用測試夾具，包括水平、定位、夾緊、氣路、密封部分，見圖1：其特征在于傳感器定位機構：將左容室1、六個中間容室3、右容室2依次置于左、右支撐座4、5之間，七個V型支撐6分別置于各容室之間，各容室的導氣孔與底盤的導氣孔H、L方向一致，導桿11穿過各容室、V型支撐6、左、右支撐座4、5上的導桿孔并用六角薄螺母21固定，七個插銷14分別固定V型支撐6、六角螺栓17將左、右支撐座4、5固定在底盤12上。夾緊機構以左、右支撐座4、5作為固定點，將壓緊螺絲7旋過右支撐座5、套上壓緊座8，配以六角薄螺母18、19對被測傳感器實施夾緊。各容室的導氣孔通過管路23與底盤的導氣槽連通形成導氣通道，各容室均有O型密封圈實現密封。

氣路機構：包括管路導氣部分和容室導氣部分。管路導氣部分：如圖1、2所示，底盤12上表面有12個導氣孔，6個正腔H，6個負腔L，底盤12內有高度不等的兩層導氣槽24，槽內也有相對應的導氣孔平行于槽水平面；上導氣槽與底盤12表面標有“H”的正腔導氣孔垂直相交，下導氣槽與標有“L”的負腔導氣孔相交，用兩個分氣塊蓋13分別將上導氣槽和下導氣槽蓋上，再將兩個分氣塊蓋13與底盤12焊接在一起并做表面處理，即為“L”型直角短邊內的導氣通道，導氣通道口用卡套接頭22連接通向各容室的不銹鋼軟管23。容室導氣部分：每個容室(左容室、6個中間容室、右容室)都設計有導氣通道，然后和焊接頭15焊接成一體，如圖1所示，每個焊接頭15都與底盤12上的一個導氣孔相對應，它們之間用不銹鋼軟管23、卡套接頭22連接。圖1中對入氣和出氣孔進行了標注。

密封機構：在左容室1、右容室2、中間容室3的溝槽里要安裝O型密封圈，以使安裝被測傳感器進行定位、夾緊以后，起到良好的密封作用，來保證傳感器的測試精度。

因為被測傳感器為差壓傳感器，所以放置時要按照加壓方式參照圖1所示“H”、“L”方向進行擺放。

水平機構：整個測試過程要求底盤12相對水平，底盤12上表面兩端各有四個固定支撐座的螺孔及一個水平調節孔，底盤的“L”型直角短邊內為導氣通道，與供氣管相接，另一側由地腳座10垂直支撐，該部位的兩個角各設計了一個地腳座10、并用兩個水平螺釘9旋入底盤12的水平調節孔、頂端有六角薄螺母20，通過調整水平螺釘9的高度來調整測試底盤12的水平度。

定位機構中的左支撐座4、右支撐座5如圖1所示，下部有兩個穿透壁厚的導桿孔、與底座垂直相交的螺栓孔，外側有兩個加強筋，右支撐座5中部有壓緊螺孔，壓緊螺絲7一端與旋緊螺帽垂直固定。左、右支撐座4、5及壓緊螺絲7均設計耐壓10-16Mpa。上述V型支撐6的形狀如圖3所示：用于支撐被測傳感器的相向斜面延長線成90°角，相向斜面下的座壁上有對稱的導桿孔，孔的軸向與兩斜面的底邊平行，兩斜面與V型底座水平面垂直的兩個面的交線與底平面的高為導桿直徑的2倍；底座一側延長段有垂直孔，與底盤12的七個插銷孔相應配合。