[實用新型]制備硅電容差壓傳感器用測試夾具

無效

• 申請號: 200820231308.7
• 申請日: 2008-12-09
• 公開（公告）號: CN201307049Y
• 公開（公告）日: 2009-09-09
• 發明（設計）人: 陳玉玲;劉波;匡石;劉沁;王勃;張哲
• 申請（專利權）人: 沈陽儀表科學研究院
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 沈陽科威專利代理有限責任公司
• 代理人: 崔紅梅

1、一種制備硅電容差壓傳感器用測試夾具，包括水平、定位、夾緊、氣路、密封部分，其特征在于傳感器定位機構：將左容室(1)、六個中間容室(3)、右容室(2)依次置于左、右支撐座(4)、(5)之間，七個V型支撐(6)分別置于各容室之間，導桿(11)穿過容室、V型支撐(6)、左、右支撐座(4)、(5)中的導桿孔并固定；壓緊螺絲(7)旋過右支撐座(5)、套上壓緊座(8)夾緊；各容室的導氣孔與底盤的導氣孔方向一致，各容室的導氣孔與底盤的導氣孔方向一致，各容室的導氣孔通過管路與底盤的導氣槽連通形成導氣通道，各容室均有O型密封圈。

2、根據權利要求1所述的制備硅電容差壓傳感器用測試夾具，其特征在于V型支撐(6)的形狀：用于支撐被測傳感器的相向斜面延長線成90°角，相向斜面下的座壁上有對稱的導桿孔，孔的軸向與兩斜面的底邊平行，兩斜面與V型底座水平面垂直的兩個面的交線與底平面的高為導桿直徑的2倍；底座一側延長段有垂直孔，與底盤(12)的七個插銷孔相應配合。

3、根據權利要求1所述的制備硅電容差壓傳感器用測試夾具，其特征在于右支撐座(5)中部有壓緊螺孔，左、右支撐座(4)、(5)的一側均有加強筋，且有與底座垂直相交的螺栓孔；各支撐座及各容室下部均有與V型支撐(6)相同的對稱的導桿孔；左、右支撐座設計耐壓10-16Mpa。

4、根據權利要求1所述的制備硅電容差壓傳感器用測試夾具，其特征在于所述的氣路機構：底盤(12)上表面有12個導氣孔，6個正腔H，6個負腔L，底盤(12)內有高度不等的兩層導氣槽(24)，槽內也有相對應的導氣孔平行于槽水平面；底盤(12)內有高度不等的兩層導氣通道，各通道中都有垂直于槽水平面的導氣孔，上導氣槽與標有“H”的正腔導氣孔垂直相交，下導氣槽與標有“L”的負腔導氣孔垂直相交；用兩個分氣塊蓋(13)分別將上導氣槽和下導氣槽蓋上，再將分氣塊蓋(13)與底盤(12)焊接在一起并做表面處理；底盤(12)上表面兩端各有四個固定支撐座的螺孔、七個插銷孔及一個水平調節孔，底盤(12)的“L”型直角短邊內為導氣通道。