[實用新型]鍍膜玻璃用真空磁控鍍膜室有效
| 申請號： | 200820216200.0 | 申請日： | 2008-11-19 |
| 公開（公告）號： | CN201326011Y | 公開（公告）日： | 2009-10-14 |
| 發明（設計）人： | 趙子東 | 申請（專利權）人： | 蘇州新愛可鍍膜設備有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 張家港市高松專利事務所 | 代理人： | 黃春松 |
| 地址： | 215625江蘇省張家港*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鍍膜 玻璃 真空 | ||
【權利要求書】：
1、鍍膜玻璃用真空磁控鍍膜室，包括：腔室，其特征在于：在腔室內設置有三個隔離通道，隔離通道將腔室分割成四個區域，在每個隔離通道上設置有玻璃輸送通道，在構成隔離通道的兩側墻板上以及構成玻璃輸送通道的上、下隔板上開設有抽氣孔，在腔室內還設置有兩個抽氣通道，抽氣通道分布在隔離通道兩端并與隔離通道內的空腔相通，抽氣通道的兩端與腔室上的抽氣口相通。
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