[實用新型]硅片自動裝片機

無效

• 申請號: 200820214482.0
• 申請日: 2008-12-19
• 公開（公告）號: CN201336302Y
• 公開（公告）日: 2009-10-28
• 發明（設計）人: 顧韻;儲敏;王江華
• 申請（專利權）人: 無錫市南亞科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B65G65/32;B65G49/07
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所
• 代理人: 殷紅梅

技術領域

本實用新型涉及一種硅片自動裝片機，用于安裝硅片。

背景技術

目前，我國對硅片的裝片還是處于人工裝片狀態。硅片又薄又脆，一不小心就會碎片。若用人工裝片每天8小時不停地機械式裝片一是人要始終處于高度集中，二是人容易疲勞，三是花籃盒片槽距離和片格尺寸有一定要求，由于人們長期處于疲勞工作中，人的四肢會僵化、大腦反應遲鈍、眼花繚亂，導致裝片時對不準片槽，裝片效率低，稍不留神硅片就碎了，造成很大浪費。四是工人的勞動強度大。

發明內容

本實用新型的目的是克服現有技術中存在的不足，提供一種裝片效率高、裝片時對準片槽方便、大大減少硅片破碎概率、提高生產效率的硅片自動裝片機。

按照本實用新型提供的技術方案，所述硅片自動裝片機，包括水箱與花籃盒，在水箱側壁通過固定導軌橫檔架設有導軌，導軌的頂端部設有與絲杠傳動部分的連接板，在導軌上通過滾輪滑動連接有裝片小車，在裝片小車上通過固定螺釘固設有花籃盒座，花籃盒直接放入花籃盒座內，在水箱上通過支承滑片槽裝置設置有滑片槽，滑片槽的出料端向下傾斜并指向導軌上滾動的花籃盒，在滑片槽的進料端通過出水接頭連接有滑片槽進水管。

在水箱上設有回水管，回水管的出水端連接有蓄水箱，在蓄水箱的底端側壁設有通磁力泵接口。導軌與滑片槽呈垂直設置。在滑片槽一側的水箱側壁固定有水槽，在水槽側壁開設有水槽進水口。

通磁力泵接口通過管道連接有磁力泵，磁力泵的出水管道上設有過濾機，過濾機的出水管分叉并分別與滑片槽進水管、水槽進水口相連接，與滑片槽進水管的進水端相連的管道上設有第一開關閥，與水槽進水口的進水端相連的管道上設有第二開關閥。

本實用新型為機電一體化產品，由伺服電機、滾珠絲杠實現精確傳動，通過數控裝置可靠地實現自動裝片。由于采用PLC可編程控制器，程序運行可靠，功能齊全，各種運行模式均可在控制面板上調節、設定。可多工位裝片，一次可裝75片，自動化程度高，能大大減輕工人勞動強度，能替代人工自動將硅片放入盒內。適用范圍寬，根據不同硅片尺寸，只要更換少量零件，就能快速變換所需工裝。操作調整方便，設備設有工作零位和工作位置校準功能，當不同用戶使用不同花籃盒時，每片格的位置略有不同，這時可通過面板上的校準鍵進行微調，快速、準確、精度高，按確認鍵后便可使用。能大大降低裝片破損率，提高效能和利用率，減少浪費。硅片放入水槽經粗清洗后再經水流自動裝入盒子后，硅片已經過了兩次清洗，為下道工序創造了良好的條件。

附圖說明

圖1是本實用新型的整體結構示意圖。

圖2是本實用新型的水路圖。

圖3是本實用新型的電氣控制框圖。

具體實施方式

下面結合具體附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

如圖所示：本實用新型主要由通磁力泵接口1、蓄水箱2、回水管3、水箱4、導軌5、與絲杠傳動部分連接板6、工作零位7、花籃盒8、裝片小車9、花籃盒工裝10、支承滑片槽裝置11、滑片槽12、出水接頭13、水槽進水口14、水槽15、工作起始位16、固定螺釘17、滑片槽進水口18、滾輪19、固定導軌橫檔20、電磁閥21、第三開關閥22、第二開關閥23、第一開關閥24、過濾機25與磁力泵26等構成。

本實用新型的硅片自動裝片機，包括水箱4與花籃盒8，在水箱4側壁通過固定導軌橫檔20架設有導軌5，小車9的頂端部設有與絲杠傳動部分的連接板6，滾輪19連接于小車9并在導軌5上滾動，在小車9上通過固定螺釘17固設有花籃盒8，在水箱4上通過支承滑片槽裝置11設置有滑片槽12，滑片槽12的出料端向下傾斜并指向導軌5上移動的花籃盒8，在滑片槽12的進料端通過出水接頭13連接有滑片槽進水管18。

在水箱4上設有回水管3，回水管3的出水端連接有蓄水箱2，在蓄水箱2的底端側壁設有通磁力泵接口1。導軌5與滑片槽12呈垂直設置。在滑片槽12一側的水箱4側壁固定有水槽15，在水槽15側壁開設有水槽進水口14。

通磁力泵接口1通過管道連接有磁力泵26，磁力泵26的出水管道上設有過濾機25，過濾機25的出水管分叉并分別與滑片槽進水管18、水槽進水口14相連接，與滑片槽進水管18的進水端相連的管道上設有第一開關閥24，與水槽進水口14的進水端相連的管道上設有第二開關閥23。