[實用新型]硅片自動裝片機無效
| 申請號: | 200820214482.0 | 申請日: | 2008-12-19 |
| 公開(公告)號: | CN201336302Y | 公開(公告)日: | 2009-10-28 |
| 發明(設計)人: | 顧韻;儲敏;王江華 | 申請(專利權)人: | 無錫市南亞科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;B65G65/32;B65G49/07 |
| 代理公司: | 無錫市大為專利商標事務所 | 代理人: | 殷紅梅 |
| 地址: | 214026江蘇省無*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 硅片 自動 裝片機 | ||
1、一種硅片自動裝片機,包括水箱(4)與花籃盒(8),其特征是:在水箱(4)側壁通過固定導軌橫檔(20)設有導軌(5),小車(9)的頂端部設有與絲杠傳動的連接板(6),在導軌(5)上通過滾輪(19)滾動連接有裝片小車(9),在裝片小車(9)上通過固定螺釘(17)固設有花籃盒(8),在水箱(4)上通過支承滑片槽裝置(11)設置有滑片槽(12),滑片槽(12)的出料端向下傾斜并指向導軌(5)上移動的花籃盒(8),在滑片槽(12)的進料端通過出水接頭(13)連接有滑片槽進水管(18)。
2、如權利要求1所述的硅片自動裝片機,其特征是:所述水箱(4)上設有回水管(3),回水管(3)的出水端連接有蓄水箱(2),在蓄水箱(2)的底端側壁設有通磁力泵接口(1)。
3、如權利要求1所述的硅片自動裝片機,其特征是:所述導軌(5)與滑片槽(12)呈垂直設置。
4、如權利要求1所述的硅片自動裝片機,其特征是:所述滑片槽(12)一側的水箱(4)側壁固定有水槽(15),在水槽(15)側壁開設有水槽進水口(14)。
5、如權利要求2所述的硅片自動裝片機,其特征是:所述通磁力泵接口(1)通過管道連接有磁力泵(26),磁力泵(26)的出水管道上設有過濾機(25),過濾機(25)的出水管分叉并分別與滑片槽進水管(18)、水槽進水口(14)相連接,與滑片槽進水管(18)的進水端相連的管道上設有第一開關閥(24),與水槽進水口(14)的進水端相連的管道上設有第二開關閥(23)。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





