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[實用新型]一種掩膜版清洗夾具有效

專利信息
申請號: 200820212047.4 申請日: 2008-09-22
公開(公告)號: CN201271647Y 公開(公告)日: 2009-07-15
發明(設計)人: 鄢紅軍 申請(專利權)人: 清溢精密光電(深圳)有限公司
主分類號: B08B13/00 分類號: B08B13/00;B25B11/00
代理公司: 深圳中一專利商標事務所 代理人: 張全文
地址: 518057廣東省深圳市*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 掩膜版 清洗 夾具
【說明書】:

技術領域

實用新型屬于清洗夾具技術領域,尤其涉及一種掩膜版清洗夾具。

背景技術

圖1和圖3所示為現有技術中的掩膜版清洗夾具上的夾塊1和底板4,所述夾塊1分別與底板4的四個凸塊41裝配,并通過所述凸塊41上的兩個螺紋通孔42和所述夾塊1背面對應開設的兩個螺紋盲孔(圖中未示出)連接在一起;所述夾塊1中間開有一垂直的通孔13,所述通孔13一側開設有一臺階11。

參閱圖2所示,清洗時,將掩膜版3放置在底板4的四個夾塊1的臺階11上,由于掩膜版3和夾塊1的垂直側面12為面接觸,且與臺階11的表面也為面接觸,在清洗后會有大量水殘留在垂直側面12和臺階11的表面上,且難以甩干,在后續烘干過程中會產生大量水漬。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種掩膜版清洗夾具,旨在解決現有技術中的掩膜版清洗夾具會在掩膜版的四個角處有大量水漬產生的問題。

本實用新型是這樣實現的,一種掩膜版清洗夾具,包括一底板和一對或兩對呈對角設置的夾塊,所述底板的對角處分別對應設有可與所述夾塊裝配的凸塊,所述夾塊中間開設有一傾斜的導流槽,所述導流槽兩側各設有一上圓弧端和一下圓弧端,所述下圓弧端突出于上圓弧端之外形成一用于放置掩膜版的臺階。

與現有技術中的掩膜版清洗夾具相比,本實用新型由于設置有傾斜的導流槽,且以夾塊上、下圓弧端作為掩膜版之支承,可以使掩膜版與夾具之間的接觸面非常小,有利于夾具四個角處的水順利地甩出,不會殘留而形成水漬。

附圖說明

圖1是現有技術提供的一種掩膜版清洗夾具的夾塊的示意圖;

圖2是現有技術提供的一種掩膜版清洗夾具的掩膜版放置在夾塊上的示意圖;

圖3是現有技術和本實用新型實施例提供的一種掩膜版清洗夾具的底板的示意圖;

圖4是本實用新型實施例提供的一種掩膜版清洗夾具的夾塊的示意圖;

圖5是本實用新型實施例提供的一種掩膜版清洗夾具的掩膜版放置在夾塊上的示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。

參閱圖3和圖4所示,本實用新型提供的一種掩膜版清洗夾具,包括一底板4和兩對呈對角設置的夾塊5,所述底板4的對角處分別對應設有可與所述夾塊5裝配的凸塊41,所述凸塊41上開設有兩個螺紋通孔42,所述夾塊5底面對應開設有兩個螺紋盲孔(圖中未示出),所述螺紋通孔42與所述螺紋盲孔通過螺釘(圖中未示出)連接在一起。所述夾塊5中間開設有一傾斜的導流槽51,所述導流槽51兩側各設有一上圓弧端52和一下圓弧端53,所述上圓弧端52的半徑大于所述下圓弧端53的半徑,所述下圓弧端53向前突出形成一用于放置掩膜版3的臺階54。

參閱圖4和圖5所示,清洗時,將掩膜版3放置在四個夾塊5的臺階54上,掩膜版上的水可以從傾斜的導流槽51順利地流出;由于掩膜版3的側面與上圓弧端52為線接觸,且掩膜版3的背面與臺階54的接觸面積也大大減小,這樣可以使殘留在掩膜版3側面和背面的水甩出,在后續烘干過程中不會有水漬產生。

以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已,并不用以限制本實用新型,凡在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等,均應包含在本實用新型的保護范圍之內。

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