[實用新型]一種掩膜版清洗夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200820212047.4 | 申請日： | 2008-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN201271647Y | 公開（公告）日： | 2009-07-15 |
| 發(fā)明（設計）人： | 鄢紅軍 | 申請（專利權）人： | 清溢精密光電(深圳)有限公司 |
| 主分類號： | B08B13/00 | 分類號： | B08B13/00;B25B11/00 |
| 代理公司： | 深圳中一專利商標事務所 | 代理人： | 張全文 |
| 地址： | 518057廣東省深圳市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 掩膜版 清洗 夾具 | ||
【權利要求書】：
1、一種掩膜版清洗夾具，包括一底板和一對或兩對呈對角設置的夾塊，所述底板的對角處分別對應設有可與所述夾塊裝配的凸塊，其特征在于：所述夾塊中間開設有一傾斜的導流槽，所述導流槽兩側各設有一上圓弧端和一下圓弧端，所述下圓弧端突出于上圓弧端之外形成一用于放置掩膜版的臺階。
2、如權利要求1所述的掩膜版清洗夾具，其特征在于：所述上圓弧端的半徑大于所述下圓弧端的半徑。
3、如權利要求1或2所述的掩膜版清洗夾具，其特征在于：所述凸塊上開設有兩個螺紋通孔，所述夾塊底面對應開設有兩個螺紋盲孔，所述螺紋通孔與所述螺紋盲孔通過螺釘連接在一起。
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