[實(shí)用新型]固晶機(jī)上的芯片元件取放裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820205212.3
• 申請日: 2008-12-09
• 公開（公告）號(hào): CN201319372Y
• 公開（公告）日: 2009-09-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王通宙;池家武
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市步科電氣有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/50
• 代理公司: 廣東國欣律師事務(wù)所
• 代理人: 劉 軍

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及芯片元件取放裝置，特別涉及固晶機(jī)上的芯片元件取放裝置。

背景技術(shù)

隨著科學(xué)技術(shù)的提高，電路逐漸向高度集成(俗稱“集成電路”)的方向發(fā)展，而其核心則是集成芯片。如今由于集成電路的大量應(yīng)用，集成芯片的需求量也大幅度的提高。

集成芯片小，集成芯片的元件(簡稱芯片元件，如晶片等)則更小。集成芯片在生產(chǎn)時(shí)，特別是在封裝時(shí)，對芯片元件的取放困難非常大，很難達(dá)到現(xiàn)代工業(yè)化生產(chǎn)中高速、精確取放的要求，使得整個(gè)機(jī)器的生產(chǎn)效率很低。固晶機(jī)就是一種將芯片元件從包裝上拾取并準(zhǔn)確安放到相應(yīng)位置的一種設(shè)備，是集成芯片制造過程中必不可少的設(shè)備。

現(xiàn)有固晶機(jī)中，芯片元件的拾取、安放主要是由裝有吸嘴的擺動(dòng)手臂或者做直線運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)來完成，機(jī)構(gòu)簡圖如圖1所示。工作時(shí)，用電機(jī)(或其他原動(dòng)件)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)使擺臂或做直線運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)運(yùn)行到芯片元件的拾取或安放點(diǎn)的上方位置，通過安放在擺臂或做直線運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)上的電機(jī)(或其他原動(dòng)件)來控制吸嘴做上下運(yùn)動(dòng)，并按照一定的次序動(dòng)作，完成吸嘴對芯片元件的拾取與安放，達(dá)到對芯片元件準(zhǔn)確取放的目的。以這種方式取放芯片元件時(shí)，它要求芯片元件的存放位置在同一個(gè)平面或者在高度差較小的兩個(gè)平面上。

而且采用擺臂式取放晶片時(shí)，因擺臂的擺動(dòng)，芯片元件的方位會(huì)發(fā)生偏轉(zhuǎn)，經(jīng)常需要進(jìn)行再調(diào)整才能正確擺放，它使得整個(gè)機(jī)器的結(jié)構(gòu)和控制變得更加復(fù)雜。而擺臂在擺動(dòng)時(shí)如果速度過大，吸附在擺臂上的晶片等元件則會(huì)因離心作用，會(huì)被甩開，所以擺臂的擺動(dòng)速度受到限制。

同時(shí)，采用這兩種方式時(shí)，都需要一個(gè)原動(dòng)件(如圖1中的電機(jī))來控制吸嘴完成取放動(dòng)作，并且原動(dòng)件與吸嘴一起參與兩點(diǎn)(取放點(diǎn))間的往來運(yùn)動(dòng)，使運(yùn)動(dòng)部件質(zhì)量增大，影響了整個(gè)機(jī)構(gòu)的運(yùn)行速度，無法做到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。整個(gè)機(jī)器的工作效率，難以滿足大規(guī)模生產(chǎn)的要求。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種固晶機(jī)上的芯片元件取放裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)對芯片元件快速、精確地拾取及安放，大幅度提高了整個(gè)機(jī)器的工作效率。

為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種固晶機(jī)上的芯片元件取放裝置，安設(shè)在固晶機(jī)機(jī)架10上，包括主導(dǎo)軌1、安設(shè)主導(dǎo)軌1上可沿主導(dǎo)軌1往復(fù)滑動(dòng)的主滑塊2、從滑塊3；在該主滑塊2上固定一個(gè)與主導(dǎo)軌1成非零角度的從導(dǎo)軌4；在該從導(dǎo)軌4安設(shè)一可沿從導(dǎo)軌4往復(fù)滑動(dòng)的插補(bǔ)滑塊5；該插補(bǔ)滑塊5與所述從滑塊3通過連桿6相連。

為進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，所述插補(bǔ)滑塊5上安設(shè)有取放芯片元件的吸嘴20。

為進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，所述主滑塊2固連在主動(dòng)伺服電機(jī)22帶動(dòng)的同步帶21上，由主動(dòng)伺服電機(jī)22帶動(dòng)可在主導(dǎo)軌1上作往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。

為進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，所述從滑塊3固連在從動(dòng)伺服電機(jī)32帶動(dòng)的同步帶31上，由從動(dòng)伺服電機(jī)32帶動(dòng)可在從導(dǎo)軌4上作往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。

為進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，主動(dòng)伺服電機(jī)22、從動(dòng)伺服電機(jī)32安設(shè)在機(jī)架10上。

本實(shí)用新型在使用時(shí)，主滑塊2通過滑動(dòng)，可改變在導(dǎo)軌上的位置，從而帶動(dòng)插補(bǔ)滑塊5及其上安設(shè)的吸嘴20沿水平方向運(yùn)動(dòng)；如果變改主滑塊2和從滑塊3之間的相對位置(距離)，由于連桿6的牽連作用，插補(bǔ)運(yùn)動(dòng)滑塊5及其上安設(shè)的吸嘴20將順著從導(dǎo)軌4在垂直方向上下滑動(dòng)。按照一定的次序動(dòng)作，吸嘴20將完成對芯片元件在不同工作點(diǎn)的拾取與安放。

本實(shí)用新型有如下優(yōu)點(diǎn)：1、由于采用了雙滑塊的直線插補(bǔ)運(yùn)動(dòng)，吸嘴20本身以直線運(yùn)動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)對芯片元件在不同工作點(diǎn)的拾取與安放，在此過程中不會(huì)產(chǎn)生離心作用，因而可以較快的速度運(yùn)動(dòng)。同時(shí)，芯片元件的方位不會(huì)發(fā)生偏轉(zhuǎn)，無需進(jìn)行擺放前的再調(diào)整，簡化了機(jī)器的結(jié)構(gòu)和控制，降低了成本；2、由于原動(dòng)件都固定在機(jī)架10上而不隨吸嘴20在不同工作點(diǎn)間往復(fù)運(yùn)動(dòng)，減少了運(yùn)動(dòng)部件的數(shù)量與質(zhì)量，可以實(shí)現(xiàn)吸嘴20在不同工作點(diǎn)間的高速運(yùn)動(dòng)，從而提高了整個(gè)設(shè)備的工作效率。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有技術(shù)芯片元件取放結(jié)構(gòu)的簡單示意圖。

圖2是本實(shí)用新型芯片元件高速取放裝置優(yōu)選實(shí)施例的軸測投影圖。

圖3是圖2的機(jī)構(gòu)簡單示意圖。

圖4是圖2的工作過程圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。