[實用新型]帶有研磨盤冷卻機構的平面研磨機

有效

• 申請號: 200820203201.1
• 申請日: 2008-11-11
• 公開（公告）號: CN201291400Y
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發明（設計）人: 王成勇;袁慧;陶玉志;宋月賢
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B41/047
• 代理公司: 廣州粵高專利代理有限公司
• 代理人: 林麗明

1.一種帶有研磨盤冷卻機構的平面研磨機，包括研磨盤(4)，主軸(10)，機座(8)，所述機座(8)安裝在主軸(10)上，工件(3)的被加工面平置于研磨盤(4)上表面，研磨盤(4)放置在研磨盤支撐板(5)上，研磨盤支撐板(5)連接主軸(10)并在主軸(10)的帶動下圍繞主軸軸線旋轉，夾具(2)夾持工件(3)，壓頭(1)壓住夾具(2)；其特征在于：所述的平面研磨機有研磨盤冷卻機構，該研磨盤冷卻機構包括：上述的一研磨盤支撐板(5)，一循環盤(7)，密封圈(6)，接頭(9)、水嘴(L1～L4)；循環盤(7)固聯于機座(8)的上凸臺表面，研磨盤支撐板(5)與循環盤(7)固聯，接頭(9)固聯于機座(8)的下部凸臺之上，上述兩兩聯接件間均置有密封圈；水嘴(L1～L4)的一端分別與接頭(9)相連接。

2.根據權利要求1所述的平面研磨機，其特征在于：上述研磨盤支撐板(5)下表面開有貫通的溝槽(5X)。

3.根據權利要求1所述的平面研磨機，其特征在于：上述循環盤(7)下端面開有一大環形槽(7a)，大環形槽(7a)的下面又開有一小環形槽(7b)，循環盤圓柱面上鉆有一盲孔(7c)，其上端面還分別鉆有一通孔(7d)和一盲孔(7e)，其中該通孔(7d)底部與大環形槽(7a)貫通，上端面鉆有的盲孔(7e)與圓柱面上鉆有的盲孔(7c)相貫通。

4.根據權利要求1所述的平面研磨機，其特征在于：上述機座(8)上凸臺端面開有四通孔(H1～H4)，并開有一環型槽(8a)，其中兩通孔(H1、H4)與該環型槽(8a)相貫通，另兩通孔(H2、H3)與循環盤(7)下端面開有的小環形槽(7b)貫通。

5.根據權利要求1所述的平面研磨機，其特征在于：上述水嘴(L1～L4)另一端分別連接冷卻液管道。

6.根據權利要求1所述的平面研磨機，其特征在于：上述研磨盤支撐板(5)下表面開有同心圓環狀的溝槽(5a～5f)，各溝槽由一矩狀溝槽(5g)相貫通。

7.根據權利要求1所述的平面研磨機，其特征在于：上述研磨盤支撐板(5)下表面開有放射狀的溝槽(5A～5H)，各溝槽以大小兩個同心環狀溝槽(5I、5J)相貫通。