[實用新型]帶有研磨盤冷卻機構的平面研磨機

有效

• 申請號: 200820203201.1
• 申請日: 2008-11-11
• 公開（公告）號: CN201291400Y
• 公開（公告）日: 2009-08-19
• 發明（設計）人: 王成勇;袁慧;陶玉志;宋月賢
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B41/047
• 代理公司: 廣州粵高專利代理有限公司
• 代理人: 林麗明

技術領域

本實用新型涉及一種平面研磨機，特別是涉及一種帶有研磨盤冷卻機構的平面研磨機。

背景技術

在研磨晶片等薄脆零件過程中，研磨盤和工件的局部接觸區域往往會出現高溫，有時甚至可達幾百度。局部的高溫不但會燒傷零件的表面，形成加工變質層，而且會引起零件的局部變形，進而影響其面形精度。

為消除研磨過程產生的熱量所帶來的負面影響，比較精密的高速固著磨料研磨機都使用冷卻系統來對研磨盤進行冷卻，比較具有代表性的研磨機型有西安秦川(集團)發展總公司生產的PJM320B平面精磨機和南京儀機股份有限公司生產的PLM-400精磨拋光機。PJM320B平面精磨機的冷卻液由冷卻泵從冷卻液箱中吸出，經塑料管送到機床前面冷卻液控制旋鈕，被分為兩路，一路由塑料管從床身內腔進入擺軸中心孔穿軸而出，接在氣缸壓頭的管接頭上，通過壓頭球頭內孔噴出，為上內噴；另一路由塑料管穿過上、下床身，進入主軸下端管接頭，由主軸內孔及磨盤上的多個小孔同時噴出為下內噴。概括起來，其冷卻方式即為“上內噴”和“下內噴”。

但在游離磨料研磨機中，這種上下內噴的冷卻方式卻無法應用，因為持續噴出的冷卻液同時會沖走游離態的研磨磨料，使研磨加工過程無法進行下去。因此，一般的游離磨料研磨機都沒有研磨盤冷卻系統。為了穩定加工中的環境溫度，市場上精度比較高的游離磨料研磨機一般都要求在配有空調系統的環境中使用，但是，空調系統只能保證外界的溫度恒定，對研磨盤與工件接觸面上的局部高溫區卻無能為力。

因此，如何解決游離磨料研磨時局部高溫研磨區的冷卻問題，便成了一個很現實的問題。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種帶有研磨盤冷卻機構的平面研磨機，以解決前述問題。

為達到上述目的，本實用新型的解決方案是：一種帶有研磨盤冷卻機構的平面研磨機，包括研磨盤4，主軸10，機座8，所述機座8安裝在主軸10上，工件3的被加工面平置于研磨盤4上表面，研磨盤4放置在研磨盤支撐板5上，研磨盤支撐板5連接主軸10并在主軸10的帶動下圍繞主軸軸線旋轉，夾具2夾持工件3，壓頭1壓住夾具2；所述的平面研磨機還有對研磨盤4冷卻的研磨盤冷卻機構，該研磨盤冷卻機構包括：一研磨盤支撐板5，一循環盤7，密封圈6，接頭9、水嘴L1～L4；循環盤7固聯于機座8的上表面，研磨盤支撐板5與循環盤7固聯，接頭9固聯于機座8的下部凸臺之上，上述兩兩聯接件間均置有密封圈；水嘴的一端分別與接頭相聯。

上述研磨盤支撐板5下表面開有貫通的溝槽5X。

上述循環盤7下端面開有一大環形槽7a，大環形槽7a的下面又開有一小環形槽7b，循環盤圓柱面上鉆有一盲孔7c，其上端面還分別鉆有一通孔7d和一盲孔7e，其中該通孔7d底部與大環形槽7a貫通，上端面鉆有的盲孔7e與圓柱面上鉆有的盲孔7c相貫通。

上述機座8上端面開有四通孔H1～H4，并開有一環型槽8a，其中兩通孔H1、H4與該環型槽8a相貫通，另兩通孔H2、H3與循環盤7下端面開有的小環形槽7b貫通。

上述水嘴L1～L4另一端分別接冷卻液管道。

上述研磨盤支撐板下表面開有同心圓環狀的溝槽5a～5f，各溝槽由一矩狀溝槽5g相貫通。

上述研磨盤支撐板下表面開有放射狀的溝槽5A～5H，各溝槽以大小兩個同心環狀溝槽5I及5J相貫通。

所述的四個通孔用于冷卻液的循環，注入冷卻液的順序可自由選擇，冷卻液流量亦可自由選擇。

本實用新型提供的帶有研磨盤冷卻機構的平面研磨機有益效果是其冷卻回路不經過研磨盤表面，冷卻液不會沖走研磨液，故不會影響游離研磨加工過程，流經研磨盤底的冷卻液能及時的帶走研磨盤各區域積聚的熱量，故能起到很好的冷卻效果。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是本實用新型的機座結構示意圖；

圖3是本實用新型第1實施例的研磨盤支撐板結構示意圖；

圖4是本實用新型的循環盤反面結構示意圖；

圖5是本實用新型的循環盤正面結構示意圖；

圖6是本實用新型第2實施例的研磨盤支撐板結構示意圖；

圖7是本實用新型第3實施例的研磨盤支撐板結構示意圖。

具體實施方式

實施列1

請參閱圖1、2，本實用新型一種帶有研磨盤冷卻機構的平面研磨機，包括研磨盤4，主軸10，機座8，還包括：可對研磨盤進行冷卻的研磨盤底內冷卻機構。