[實用新型]帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽

有效

• 申請號: 200820199426.4
• 申請日: 2008-12-08
• 公開（公告）號: CN201270245Y
• 公開（公告）日: 2009-07-08
• 發明（設計）人: 尹吉星
• 申請（專利權）人: 江西賽維LDK太陽能高科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/00;B08B3/04
• 代理公司: 江西省專利事務所
• 代理人: 楊志宇

技術領域

本實用新型涉及半導體領域的一種硅片清洗籃的部件，特別是帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽。

背景技術

硅片清洗籃用于同時安插多個硅片，安插好硅片被放置在硅片清洗籃中，經過一系列的清洗步驟，完成清洗硅片的任務。

位于硅片清洗籃下部的安插底槽由一組槽齒和一組槽口組成。硅片底部可以安插在槽齒與槽齒之間的槽口中，為了經久耐用，目前的硅片清洗籃整體都是由較硬的材料制成。在硅片清洗工藝中，插滿硅片的硅片清洗籃需要進行超聲波震蕩或其它方式清洗、甩干、轉移等一系列的步驟，導致硅片和清洗籃的槽齒、槽口的接觸部分不斷受力，產生相互碰撞、摩擦，容易造成硅片和清洗籃的槽齒、槽口的接觸部分損傷，影響硅片質量。

傳統的硅片清洗籃的安插底槽沒有安裝緩沖裝置。

發明內容

本實用新型的目的在于提供一種不容易損傷硅片的帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽。

本實用新型的技術方案為：

一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置活動的設置在可以接觸硅片底部的清洗籃安插底槽的外表面。

一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置以纏繞的方式活動的固定設置在硅片清洗籃安插底槽的外表面。

一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置以環繞的方式活動的固定設置在硅片清洗籃安插底槽的外表面。

一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置的形狀是線型的。

一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置的形狀是帶型的。

一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置的材料可以是彈性皮筋。

一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置的材料可以是繩子。

本實用新型的優點：帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽可以緩沖硅片和清洗籃的槽齒、槽口的接觸部分之間的碰撞和摩擦，可以減少或避免硅片在清洗過程中造成損傷，提高硅片質量。

附圖說明

附圖1是本實用新型的結構示意圖。

附圖2是本實用新型的使用狀態示意圖。

附圖3是本實用新型在一種硅片清洗籃一側中的結構狀態示意圖。

附圖4是本實用新型在一種硅片清洗籃中的使用狀態示意圖。

附圖5是傳統的硅片清洗籃一側的安插底槽的使用狀態示意圖。

附圖標記：槽口1，硅片2，緩沖裝置3。

具體實施方式

實施例1、一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置3活動的設置在可以接觸硅片2底部的清洗籃安插底槽的外表面。

實施例2、一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置3以纏繞的方式活動的固定設置在硅片清洗籃安插底槽的外表面。其余同實施例1。

實施例3、一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置3以環繞的方式活動的固定設置在硅片清洗籃安插底槽的外表面。其余同實施例1。

實施例4、一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置3的形狀是線型的。其余同實施例1。

實施例5、一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置3的形狀是帶型的。其余同實施例1。

實施例6、一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置3的材料可以是彈性皮筋。其余同實施例1。

實施例7、一種帶有緩沖裝置的硅片清洗籃安插底槽，其中：緩沖裝置3的材料可以是繩子。其余同實施例1。

工作原理：安插底槽由于安裝了緩沖裝置3，硅片2底部將直接接觸緩沖裝置3，硅片2底部不再接觸硬質的槽口1底部，因而硅片2底部不容易損傷。特別是彈性皮筋、繩子等軟質材料的良好緩沖作用，可以減少或避免硅片在清洗過程中造成損傷，提高硅片質量。