[實(shí)用新型]一種雙端多室真空鍍膜裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820186013.2
• 申請(qǐng)日: 2008-10-10
• 公開（公告）號(hào): CN201272825Y
• 公開（公告）日: 2009-07-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張明富;朱群;王萬忠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇太陽(yáng)雨太陽(yáng)能有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/22
• 分類號(hào): C23C14/22
• 代理公司: 南京眾聯(lián)專利代理有限公司
• 代理人: 王彥明

1.一種雙端多室真空鍍膜裝置，其特征在于：包括鍍膜室、真空預(yù)備室和工件架車，在真空預(yù)備室的邊側(cè)部設(shè)有工件裝卸臺(tái)，真空預(yù)備室內(nèi)并排設(shè)有兩條工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道，在真空預(yù)備室的左右兩端各連接有至少一個(gè)鍍膜室，在所述的鍍膜室內(nèi)設(shè)有環(huán)形軌道，每一個(gè)鍍膜室內(nèi)的環(huán)形軌道分別通過軌道切換機(jī)構(gòu)與上述真空預(yù)備室內(nèi)的兩條工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道對(duì)接，工件裝卸臺(tái)設(shè)有“U”形傳輸軌道，“U”形傳輸軌道的兩端與真空預(yù)備室內(nèi)兩條工件架車轉(zhuǎn)運(yùn)軌道橫向相交，在相交處設(shè)有變軌裝置和軌道槽，真空預(yù)備室與鍍膜室和工件裝卸臺(tái)之間分別設(shè)有真空鎖和門閥，真空預(yù)備室和每個(gè)鍍膜室都與抽真空系統(tǒng)相連接。