[實用新型]一種硅片放置裝置

無效

• 申請號: 200820179591.3
• 申請日: 2008-12-05
• 公開（公告）號: CN201421837Y
• 公開（公告）日: 2010-03-10
• 發明（設計）人: 陶凌;陳世強
• 申請（專利權）人: 無錫市奧曼特科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種工裝，尤其涉及一種硅片放置裝置。

背景技術

硅片旋轉沖洗甩干是專門用于太陽能電池片和半導體硅片的生產制造過程中對濕法腐蝕清洗后的硅片進行干燥和潔凈化處理的一道工序，目前國內外的設備主要有單工位，雙工位和四工位三種，一次只能放一個，兩個或四個硅片盒，產量低，結構單薄，高速旋轉易產生震動和變形，引起硅片碎裂。

實用新型內容

本實用新型針對現有技術的不足，提供了一種硅片放置裝置。

本實用新型采用的技術方案是：

一種硅片放置裝置由上板、中間板、底板、前擋桿、中間擋桿和后擋桿組成；其中上板、中間板和底板為圓形，外徑大小一致，三者為垂直方向同軸平行放置；上板和中間板邊緣均設置有“凸”字形齒槽，齒槽內側邊緣的垂直方向均設置有前擋桿、中間擋桿和后擋桿，各擋桿一端連接上板，穿過中間板后另一端與底板連接；上板、中間板、前擋桿、中間擋桿和后擋桿形成了一個中空框，框中的空間為放置硅片盒所設置。

所述的底板中心位置設有圓孔，四周環繞平均分布有多個橢圓形孔。

本實用新型利用上板、中間板、前擋桿、中間擋桿和后擋桿所形成的中空框，將硅片盒能夠放置于內，在高速轉動過程中，硅片盒在離心力的作用下，能夠牢牢地固定在中空框內，五面的夾持使硅片盒非常穩定，硅片不會因碰撞而碎裂，整體具有結構簡單，拆卸、清洗方便，放置硅片多等優點。

附圖說明

圖1為本實用新型結構圖；

具體實施方式：

如圖1所示，一種硅片放置裝置由上板1、中間板2、底板3、前擋桿4、中間擋桿5和后擋桿6組成；實施時，將本裝置通過底板3的圓孔放于加工設備的轉動軸上，并將放置有硅片的硅片盒放入由上板1、中間板2、前擋桿4、中間擋桿5和后擋桿6形成的六個中空框內，在高速轉動中，硅片盒的各個面均相對固定，使硅片不會因碰撞而產生碎裂，加工完成后取出硅片盒即可，利用底板3中多個橢圓形孔可對甩干設備進行清理。

本實用新型采用上板、中間板、前擋桿、中間擋桿和后擋桿形成六個中空框的設計，不僅提高了硅片的放置數量，也使硅片在加工過程中更為安全，整體結構簡單、拆卸清洗方便，安全性高，具有極大的推廣價值。