[實用新型]晶圓盒的抵推裝置的組合構造

有效

• 申請號: 200820178844.5
• 申請日: 2008-11-12
• 公開（公告）號: CN201327821Y
• 公開（公告）日: 2009-10-14
• 發明（設計）人: 楊雅涵;張尹嘉
• 申請（專利權）人: 耀連科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所（普通合伙）
• 代理人: 翟 羽

技術領域

本實用新型涉及一種晶圓盒的抵推裝置的組合構造，特別是涉及一種通過防呆凸塊輔助判定一抵推板與一支撐板的組合狀態是否確實的晶圓盒的抵推裝置的組合構造。

背景技術

為避免晶圓在運送過程中受到污染及碰撞，一般會利用一晶圓盒來放置及運送晶圓。舉例而言，中國臺灣專利公告第M317646號揭示一種晶圓放置盒的晶圓固定裝置，其中所述晶圓放置盒包含一底座及一殼蓋。所述底座用以承載晶圓，所述殼蓋內設有一晶圓固定裝置，其包含一固定墊、一支持板及一連接固定裝置。所述固定墊用以抵推固定所述晶圓。所述支持板用以連接及并穩固支撐所述固定墊。所述連接固定裝置用以連接所述支持板及所述殼蓋。當所述殼蓋與所述底座進行組合時，所述支持板受到所述底座抵推移動，所述固定墊隨所述支持板的移動而抵推固定所述晶圓。

請參考圖1所示，其揭示上述現有的晶圓盒的抵推裝置的組合構造剖視圖。所述抵推裝置包含一固定墊1及一支持板2。所述固定墊1設有多個連接孔11。所述支持板2相對應所述固定墊1的所述多個連接孔11分別設有至少一固定勾21及至少一彈性卡摯22。在正常的組合狀態下，所述至少一固定勾21及所述至少一彈性卡摯22分別正確的卡入所述多個連接孔11內。使所述固定墊1與所述支持板2形成穩固的組合體。

然而，如圖1所示的晶圓放置盒的晶圓固定裝置，其中所述固定墊1及所述支持板2在實際使用上仍具有下述問題：例如，為使長型的所述固定墊1與所述支持板2可以形成更穩固的組合體，所述支持板2在一段距離內分別設有一個以上的固定勾21，然而所述固定勾21于所述固定墊1與所述支持板2進行組合時，有可能因為操作人員的疏忽而發生所述固定勾21漏卡的情形。

請參考圖2A所示，其揭示所述固定墊1與所述支持板2的組合不良狀態，其卡合是由所述支持板2的較上方的所述固定勾21與所述彈性卡摯22分別卡入相對應的所述多個連接孔11所構成。然而，所述支持板2的較下方的所述固定勾21則未卡入相對應的所述連接孔11內，由于所述固定墊1的垂直方向的兩側凸設有接觸凸緣(未標示)，使得所述固定墊1在垂直方向的強度比所述支持板2大許多，因此造成所述支持板2中段的彎曲變形。請再參考圖2B所示，其揭示所述固定墊1及所述支持板2的另一組合不良狀態，其卡合是由所述支持板2的較下方的所述固定勾21與所述彈性卡摯22分別卡入相對應的所述多個連接孔11所構成。而所述支持板2的較上方的所述固定勾21則未卡入所述相對應的所述連接孔11內，由于固定墊1的垂直方向的強度比支持板2大，因此造成所述支持板2上段的彎曲變形。在實際組裝時，由于所述支持板2的些微變形很容易被操作人員所忽略，并且將其繼續使用于所述晶圓放置盒內，因而造成所述晶圓固定裝置的支撐力不佳，從而對晶圓造成直接或間接的傷害。

因此，確實有必要提供一晶圓盒的抵推裝置的組合構造，以解決現有的技術所存在的缺陷。

實用新型內容

本實用新型的主要目的在于提供一種晶圓盒的抵推裝置的組合構造，其是利用設于卡勾頂面的防呆凸塊，用以輔助判定抵推板與支撐板的組合狀態是否正確，從而提高抵推裝置的組裝穩固性。

本實用新型的另一目的在于提供一種晶圓盒的抵推裝置的組合構造，其是利用設于防呆凸塊側緣的導引面，以便使抵推板與支撐板的組合更順利，從而提高抵推裝置的組裝效率。

本實用新型的又一目的在于提供一種晶圓盒的抵推裝置的組合構造，其是利用設于抵推板上的定位孔與相對應設于支撐板上的定位凸點，從而提高抵推裝置的組裝準確度。

為達上述的目的，本實用新型提供一種晶圓盒的抵推裝置的組合構造，其包含一抵推板及一支撐板。所述抵推板用以接觸及抵推晶圓，其設有至少二卡合孔及至少一卡掣孔。所述支撐板可活動的設于一晶圓盒內，其設有至少二卡勾及至少一彈性勾。所述至少二卡勾凸設于所述支撐板的一第一區段，用以分別對應卡入所述抵推板的至少二卡合孔內。所述至少一彈性勾凸設于所述支撐板的一第二區段，用以對應所述彈性勾卡入所述抵推板的至少一卡掣孔內。所述至少二卡勾的頂面分別凸設有一防呆凸塊，所述防呆凸塊的側緣設有一導引面。藉此，可穩固的組合所述抵推板與所述支撐板，且容易判定所述支撐板與所述抵推板的組合狀態，以減少組裝錯誤并提高組裝的效率。

相較于現有技術，本實用新型通過凸設在一卡勾頂面的一防呆凸塊，其確實可以有效輔助操作人員判定一支撐板與一抵推板的組合狀態是否良好，從而提高晶圓盒的抵推裝置的組裝穩定性及組裝可靠度，并且能有效提高組裝的效率與準確度。

附圖說明