[實用新型]晶圓研磨定位環

有效

• 申請號: 200820176369.8
• 申請日: 2008-11-10
• 公開（公告）號: CN201346740Y
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發明（設計）人: 黃瑞堂
• 申請（專利權）人: 孫建忠
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B41/047;H01L21/304
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司
• 代理人: 徐樂慧;張 瑾

技術領域

本實用新型關于一種研磨定位環，更具體的說，特別指一種用于晶圓定位研磨作業的改良的晶圓研磨定位環。

背景技術

目前，一般業界用于研磨晶圓作業的研磨定位環的結構，通常由一個金屬的基部環體與一個高分子材質的研磨環體相互結合構成，研磨定位環在進行使用時，其壽命的長短，除了取決于該高分子材質的研磨環體的磨耗速度，金屬的基部環體與研磨環體之間結合結構的牢固性，也為一重要因素，這是因為研磨定位環在研磨加工過程中，會與晶圓及加工機件之間產生持續性劇烈的摩擦作用，其所產生的反向應力，則會對研磨定位環的基部環體與研磨環體的結合結構，產生破壞性作用，一旦基部環體與研磨環體之間產生松動或脫開剝離的現象時，也即等同該研磨定位環報廢，而需要另作更換。

現有的研磨定位環的基部環體與研磨環體的結合固定方式，大致是采用如中國臺灣專利公告號第470690號的《晶圓研磨環的接著方式》所述內容，該專利主要在揭示將研磨定位環的接著面先進行火焰處理，再將基部環體與研磨環體的接著面擦拭處理干凈，然后再利用環氧樹脂將二者加以粘著固定，使基部環體與研磨環體達到結合固定的結構。

但是，由于前述基部環體與研磨環體的接著面，大體上為一平面結構，因此這種通過粘著的結合方式并無法有效克服晶圓研磨時所產生的反向應力，容易因為研磨晶圓時所產生的震動或高溫熔解，使得環氧樹脂失去粘合效用，從而導致研磨定位環的基部環體與研磨環體產生脫落或剝離的現象，因此借由這種粘合方式，該基部環體及研磨環體之間的結合強度仍舊存有不足的情況。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種可快速替換、節省材料、降低成本，且延長使用壽命的晶圓研磨定位環。

為了達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：一種晶圓研磨定位環，其包含基部與研磨部；其中，

所述基部為具有一定厚度的環狀結構，所述基部的上方形成有鎖固面，所述鎖固面上設置有定位孔，所述基部的下方形成有結合面，所述結合面上設置有用以接設鎖固接合組件的接合孔；

所述研磨部為具有一定厚度的環狀結構，所述研磨部的上方為結合面，所述結合面上設置有導入孔，所述導入孔外緣延伸出鳩尾槽，所述研磨部借由所述導入孔與所述基部接設的所述接合組件相連定位，所述研磨部的下方為研磨面。

本實用新型的另一實施結構，即一種晶圓研磨定位環，其包含基部與研磨部；其中，

所述基部為具有一定厚度的環狀結構，所述基部的外緣下方設置有環列并貫穿所述基部內外徑的鳩尾槽；

所述研磨部為具有一定厚度的環狀結構，所述研磨部的外緣上方設置有環列并貫穿所述研磨部內外徑的鳩尾槽，所述鳩尾槽與所述基部外緣下方相對位置的所述鳩尾槽形成雙鳩尾槽，使用形狀與雙鳩尾槽相符的插銷接合，所述研磨部的下方為研磨面。

研磨部底部的研磨塊，可開設數條等距配置的溝槽，該溝槽具有特定深度，并且貫穿研磨部的內、外徑，或由兩個或兩個以上研磨塊接合于研磨部底部，便于研磨部部分受損時，進行部分替換，節省時間與材料。研磨作業時，研磨塊之間的間隙可使研磨液流入與晶圓接觸，使得降低溫度，并潤滑晶圓，同時又能夠借以向外帶出研磨部在研磨過程中所產生的磨耗廢棄物，使成品率提高。

由上述得知，基部與研磨部可借由接合組件伸入導入孔，并滑移至鳩尾槽卡掣、使用粘著劑膠合基部與研磨部的接合面，或在基部與研磨部外緣相對位置所形成雙鳩尾槽，再利用形狀相符的插銷接合，來連接基部與研磨部，且研磨部底部的研磨塊可部分更換，更節省了時間與材料，對于人力、物力都是一大節省，進而有效延長晶圓研磨定位環的使用壽命，降低業內人士研磨加工工藝的成本。

附圖說明

圖1為本實用新型中晶圓研磨定位環的立體示意圖；

圖2A為本實用新型中晶圓研磨定位環的第一實施例的分解示意圖(一)；

圖2B為本實用新型中晶圓研磨定位環的第一實施例的分解示意圖(二)；

圖3A為本實用新型中晶圓研磨定位環的第二實施例的分解剖視示意圖(一)；

圖3B為本實用新型中晶圓研磨定位環的第二實施例的組裝剖視示意圖(二)；

圖4A為本實用新型中晶圓研磨定位環的第三實施例的分解立體示意圖(一)；

圖4B為本實用新型中晶圓研磨定位環的第三實施例的組裝立體示意圖(二)；

圖5為本實用新型中晶圓研磨定位環的研磨部設置溝槽的示意圖；

圖6A為本實用新型中晶圓研磨定位環的組合式研磨部損耗更換示意圖(一)；