[實用新型]真空鍍膜設備無效
| 申請號: | 200820166972.8 | 申請日: | 2008-10-24 |
| 公開(公告)號: | CN201276592Y | 公開(公告)日: | 2009-07-22 |
| 發明(設計)人: | 陸漢良 | 申請(專利權)人: | 舟山市漢邦機械科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/35 | 分類號: | C23C14/35;C23C14/48 |
| 代理公司: | 舟山固浚專利事務所 | 代理人: | 范榮新 |
| 地址: | 316000浙江省*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 真空鍍膜 設備 | ||
1、一種真空鍍膜設備,有真空室,真空室內安裝有工件架,真空室上有供工件進出的門,其特征是所說門設置在真空室頂部。
2、如權利要求1所述的真空鍍膜設備,其特征是所說真空室頂部設置的進出工件的門是真空室的密封頂蓋。
3、如權利要求1或2所述的真空鍍膜設備,其特征是所說工件架安裝在真空室頂部,其安裝結構是有一行星齒輪機構,工件架安裝在行星齒輪軸上,太陽齒輪安裝在真空室側壁上。
4、如權利要求3所述的真空鍍膜設備,其特征是所說行星齒輪機構中的行星齒輪架驅動軸與行星齒輪架是以花鍵結構連接的,該驅動軸穿出頂蓋安裝在驅動機構上。
5、如權利要求3或4所述的真空鍍膜設備,其特征是所說太陽齒輪是安放在固定于真空室壁上的太陽齒輪座上的。
6、如權利要求3所述的真空鍍膜設備,其特征是所說真空室的側壁上設置有可依中心滾動的滾動機構,所說工件架所安裝的行星齒輪架向外伸展的懸臂擱置在該滾動機械上。
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