[實用新型]真空鍍膜設備

無效

• 申請號: 200820166972.8
• 申請日: 2008-10-24
• 公開（公告）號: CN201276592Y
• 公開（公告）日: 2009-07-22
• 發明（設計）人: 陸漢良
• 申請（專利權）人: 舟山市漢邦機械科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/48
• 代理公司: 舟山固浚專利事務所
• 代理人: 范榮新

技術領域

本實用新型涉及一種真空鍍膜設備，尤其是設備中供工件進出的門的結構，屬物理氣相沉積技術領域。

背景技術

真空鍍膜設備，主要有磁控濺射離子鍍設備、電弧離子鍍設備或它們的混合鍍設備，通過將靶材在真空環境下經過物理過程進入氣相并沉積在工件表面而而使工件表面覆蓋上一層單一金屬或多種金屬或金屬與非金屬結合的鍍層，以達到工件具備工程需要的目的。真空鍍膜設備通常是一直立的圓柱體形狀的真空室內部安裝有靶、加熱裝置和作行星運轉的工件架。工作時工件上下架有三種形式，一是從側門將工件移入設備再掛到頂部的工件架上，二是把整個爐頂和工件架一起吊出真空室，在真空室外裝好工件后再整體吊裝到真空室中，三是是工件架裝在真空室底部，從側門將其移出真空室裝上工件再移到真空室中。上述三種傳統工件架設計方式對于較小的工件比較實用，但當面對較長較重的工件，如塑料機械中單根長達5米以上，重2噸以上的螺桿時則顯得完全不適用。因為一個真空設備工件架上起碼有6個工位，如果都是5米螺桿時整體工件重量在12噸以上，這對車間高度、吊車設備、吊裝方式都有很高要求，不容易實現。如果采用側開門把工件從外往里裝時則由于工件太重，設備比較高(6米)，很難把工件準確掛到工件架上。而如果采用下轉架整體裝卸方式時則必須把側面的門開到6米高，那會影響到整個設備的強度。總之現有設備的供工件進出的門的結構難以加工較長、較重的工件。

發明內容

針對上述缺陷，本實用新型就是要提出一種改變了供工件進出的門的結構的、可進行對超長超重工件鍍膜的真空鍍膜設備。

本實用新型提供的真空鍍膜設備，有真空室，真空室內安裝有工件架，真空室上有供工件進出的門，所說門設置在真空室頂部。

本實用新型提供的真空鍍膜設備，將供工件進出的門設置在真空室的頂蓋上，使工件可以從頂部單根吊裝到工件架上。即工件是從頂部吊入并裝到工件架上的，與現有技術相比，本實用新型克服了工件進出時大型工件進出無法應用吊裝工具或不能單根吊裝的不足。

本實用新型所提供的真空鍍膜設備，所說真空室頂部設置的進出工件的門是真空室的密封頂蓋，即該密封頂蓋可以與側壁分離。

本實用新型所提供的真空鍍膜設備，所說工件架安裝在真空室頂部，其安裝結構是有一行星齒輪機構，工件架安裝在行星齒輪軸上，太陽齒輪安裝在真空室側壁上。

本實用新型所提供的真空鍍膜設備，所說行星齒輪機構中的行星齒輪架驅動軸與行星齒輪架是以花鍵結構連接的，該驅動軸穿出頂蓋安裝在驅動機構上，可使以電機和和變速機構組成的驅動機構隨頂蓋起吊時與其主軸與行星齒輪架脫離，方便操作。

本實用新型所提供的真空鍍膜設備，所說太陽齒輪是安放在固定于真空室壁上的太陽齒輪座上的，以使之同樣可向上吊出真空室，方便維修操作。

本實用新型所提供的真空鍍膜設備，所說真空室的側壁上設置有可依中心滾動的滾動機構，所說工件架所安裝的行星齒輪架向外伸展的懸臂擱置在該滾動機構上，以使工件架的負荷向真空室壁轉移而可承載更重的工件，和同時可以將行星齒輪架連帶工件架吊出真空室，以方便維修操作。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例的頂部結構示意圖，圖中：1-真空室壁，2-真空室頂蓋，3-太陽齒輪座，4-太陽齒輪，5-行星齒輪，6-工件架(行星齒輪軸)，7-工件架座，8-行星齒輪架，9-驅動主軸，10-減速機，11-電機，12-密封圈，13-動圈，14-滾珠，15-定圈，16-隔離罩。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的技術方案作進一步說明：