[實用新型]單晶棒多線切割機

無效

• 申請號: 200820166096.9
• 申請日: 2008-10-14
• 公開（公告）號: CN201264322Y
• 公開（公告）日: 2009-07-01
• 發明（設計）人: 陸昌忠
• 申請（專利權）人: 浙江華友電子有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 杭州裕陽專利事務所（普通合伙）
• 代理人: 應圣義

【技術領域】

本實用新型屬于一種將硅單晶錠切割加工成硅片的多線切割機，尤其涉及一種DS265型多線切割機。

【背景技術】

現有DS265型硅單晶錠多線切割機結構，包括機殼，以及設置在機殼內的切割室、排線裝置和傳動裝置等。切割室的上方設有工件臺，工件臺下方設置導輪、固定軸承、活動軸承，導輪分為主導輪、從導輪，切割線從主導輪的內側進線，環繞從導輪后從主導輪的外側出線，形成一網狀切割面。在工件臺與網狀切割面之間的切割室內壁上設有沙漿噴嘴。作業時，工件安裝在與工件臺連接的工件夾具上，工件夾具可攜帶著工件相對網狀切割面升降，沙漿噴嘴噴出切割液，均勻布在網狀切割面上，切割液包裹切割線對工件即硅單晶錠進行切割。切割后，切割液下落到置放在切割室底部的漿液箱內，通過沙漿泵沙漿液循環使用。現有DS265多線切割機盡管在切割室的底部漿液箱內設有過濾網，但是，由于該過濾網與切割工件相距一定高度，從切割面掉下的破碎硅片，受漿液沖擊、機體碰撞會進一步破碎，更細小的破碎硅片會穿越過濾網再次進入工作循環、流動使用，從而存在過濾網過濾不凈、破碎硅片進入工作循環影響硅片產品質量，致使產品合格率低，同時，破碎硅片也容易造成切割線跳線、斷線，影響切割機正常工作。

【發明內容】

為克服現有技術存在的上述缺陷，本發明旨在提供一種結構新型的多線切割機，該切割機作業時，切割過程中產生的碎硅片能夠及時得到過濾，從而消除影響切割機正常工作的不利因素。

為實現上述目的，本發明采用了如下的技術方案，這種多線切割機的結構包括機殼，機殼內設有切割室，切割室左側設有排線裝置，切割室的上方設置工件臺，工件臺下方設有導輪、固定軸承、活動軸承，導輪分為主導輪、從導輪，切割線從主導輪的內側進線，環繞從導輪后從主導輪的外側出線，形成一網狀切割面，其特征是：在所述網狀切割面的正下方設置了一活動式過濾網。

如上所述的單晶棒多線切割機，其特征是：活動式過濾網的網面與主導輪、從導輪的下平面相距5—10厘米。

如上所述的切割機，其特征是：活動式過濾網的網面與網狀切割面為平行設置。

有益效果：在主導輪和從導輪的下方增設一活動式過濾網后，從切割面掉下的碎硅片能夠及時擱置在過濾網上，因此，可有效防止碎硅片受漿液沖擊、機體碰撞會進一步破碎，從而穿越過濾網再次循環、流動使用的現象發生，過濾效果好。

【附圖說明】

圖1為本實用新型所涉及的單晶棒多線切割機的局部結構，即：打開機體后切割室的俯視結構示意圖。

圖中：過濾網1，主導輪2，切割室壁3，從導輪4，切割線5，網狀切割面6，切割室7。

【具體實施方式】

參見圖1。由切割室壁3所圍成的切割室內，主導輪2、從導輪4經固定軸承、活動軸承等部件，設置定位。切割線5環繞主導輪2、從導輪4后，在兩輪的間隙處形成網狀切割面6。工件安裝在與工件臺連接的工件夾具上，工件夾具可攜帶著工件相對網狀切割面6升降，沙漿噴嘴噴出切割液，均勻布在網狀切割面上，切割液包裹切割線對工件即硅單晶錠進行切割。

本實用新型的創新點僅在主導輪2、從導輪4的下方設置了一張過濾網1，該網的網目大小以確保切割液能正常流動即可。過濾網1為抽拉式、平行設置，利用工作間隙可以及時清理過濾物，為達到更好的過濾效果，過濾網1的網面與兩只導輪的下平面應盡量靠近設置，一般以相距5—10厘米為好。