[實用新型]單晶棒多線切割機無效
| 申請號: | 200820166096.9 | 申請日: | 2008-10-14 |
| 公開(公告)號: | CN201264322Y | 公開(公告)日: | 2009-07-01 |
| 發明(設計)人: | 陸昌忠 | 申請(專利權)人: | 浙江華友電子有限公司 |
| 主分類號: | B28D5/04 | 分類號: | B28D5/04 |
| 代理公司: | 杭州裕陽專利事務所(普通合伙) | 代理人: | 應圣義 |
| 地址: | 324300浙江*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 單晶棒多線 切割機 | ||
1、單晶棒多線切割機,包括機殼,機殼內設有切割室(7),切割室(7)左側設有排線裝置,切割室(7)的上方設置工件臺,工件臺下方設有導輪、固定軸承、活動軸承,導輪分為主導輪(2)、從導輪(4),切割線(5)從主導輪(2)的內側進線,環繞從導輪(4)后從主導輪(2)的外側出線,形成一網狀切割面(6),其特征是:在所述網狀切割面(6)的正下方設置了一活動式過濾網(1)。
2、如權利要求1所述的單晶棒多線切割機,其特征是:活動式過濾網(1)的網面與主導輪(2)、從導輪(4)的下平面相距5—10厘米。
3、如權利要求1所述的單晶棒多線切割機,其特征是:活動式過濾網(1)的網面與網狀切割面(6)為平行設置。
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