[實用新型]硅片清洗脫膠夾具有效

申請號：	200820161257.5	申請日：	2008-11-19
公開（公告）號：	CN201302990Y	公開（公告）日：	2009-09-02
發明（設計）人：	楊風彥	申請（專利權）人：	高佳太陽能(無錫)有限公司
主分類號：	H01L21/687	分類號：	H01L21/687;H01L21/00;H01L31/18
代理公司：	無錫華源專利事務所	代理人：	方為強
地址：	214174江蘇省***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	硅片清洗脫膠夾具
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【權利要求書】：

1.一種硅片清洗脫膠夾具，包括兩側板及裝置在兩側板之間的各一對上導桿、分隔板導桿及下導桿，在分隔板導桿上夾掛有分隔板，其特征在于：所述上導桿上滑套有兩對粘機板固定夾及至少一對粘機板限位夾，粘機板固定夾上設有夾持住粘機板上銷軸的螺釘，粘機板限位夾上設有抵住粘機板兩側的調節夾頭，調節夾頭螺紋連接在粘機板限位夾上，粘機板限位夾上設有將粘機板限位夾固定在上導桿上的螺釘；所述側板的兩側設有起吊鉤，起吊鉤之間連接有把手。

2.按照權利要求1所述的硅片清洗脫膠夾具，其特征在于：所述兩側板之間還裝置有一對板夾導桿，板夾導桿上分別滑套有與分隔板數量相等的分隔板夾，所述分隔板夾上設有夾持分隔板兩端的細槽，并設有將分隔板夾固定在板夾導桿上的螺釘。

3.按照權利要求1或2所述的硅片清洗脫膠夾具，其特征在于：在所述分隔板導桿及下導桿上滑套有兩塊限位擋板，所述限位擋板上設有將限位擋板固定在分隔板導桿上的螺釘。

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