[實用新型]掩模版庫機構

有效

• 申請號: 200820156899.6
• 申請日: 2008-12-10
• 公開（公告）號: CN201327564Y
• 公開（公告）日: 2009-10-14
• 發明（設計）人: 馬喜寶;李志龍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B66F7/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及光刻設備的掩模版盒傳輸機構，特別涉及一種掩模版庫機構。

背景技術

在光刻設備已經能夠在晶片上形成越來越小的圖形，而在光刻設備中，掩模版庫則是對光刻過程中掩模版操作的重要裝置，現有的掩模版庫最常見的有兩種：一種現有掩模版庫中，升降部分采用電機，同步帶輪和豎向安裝的同步齒形帶；鎖定及解鎖部分采用凸輪和連桿機構。這種掩模版庫的升降部分在豎直方向，同步齒形帶一直處于受力狀態，而且無法制動，必須靠電機自身的制動力矩制動，且同步齒形帶容易產生顆粒污染物；而鎖定及解鎖部分的凸輪和連桿存在滑動摩擦，工作效率較低，外形較大且復雜。

另一種掩模版庫，其升降部分采用偏置絲杠導軌結構；鎖定及解鎖部分采用齒輪齒條加鋼索結構。這種掩模版庫開鎖及解鎖時，返程間隙大，鎖銷運動不同步；偏置絲杠導軌結構穩定性差。

有鑒于此，如何提供一種掩模版庫來減少上述弊端已成為業界亟待解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型所解決的技術問題在于提供一種掩模版庫機構，其結構簡單緊湊，工作穩定可靠，運動靈活，且能夠減少污染物的產生。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種掩模版庫機構，包括鎖定和解鎖機構以及位于其下方的升降機構，所述鎖定和解鎖機構包括第一驅動組件和滑塊機構，所述第一驅動組件驅動所述滑塊機構作直線往復運動；所述升降機構包括第二驅動組件及導軌組件，所述第二驅動組件驅動掩模版盒沿導軌組件作直線往復運動。

其中，所述第一驅動組件包括電機、絲杠及絲杠螺母，所述電機提供動力，所述絲桿用于連接所述電機與所述絲桿螺母，所述絲桿螺母與所述滑塊機構連接，并將電機的轉動轉化為滑塊機構的水平運動。所述滑塊機構包括導向銷及交叉滾柱滑塊，所述滑塊上具有導槽，所述導向銷一端設置在所述導槽內，另一端連接至所述交叉滾柱滑塊，當所述滑塊作直線往復運動時，其帶動所述導向銷和交叉滾柱滑塊作垂直于滑塊運動方向的往復運動。

進一步地，所述滑塊兩端均設有導槽，對應每個導槽均設置有導向銷和交叉滾柱滑塊，所述導槽兩端各具有一段水平橫槽，兩段水平橫槽之間通過一段斜槽連接，所述斜槽與橫槽之間的夾角為150度，所述導向銷和交叉滾柱滑塊通過一鎖銷連板連接。

進一步地，所述滑塊包括平行設置在所述開口兩側的上滑塊及下滑塊。所述鎖定和解鎖機構還包括連接上滑塊與下滑塊的鋼索，當所述第一驅動組件驅動上滑塊運動時，由所述鋼索帶動所述下滑塊作與上滑塊相反方向的運動。

在上述掩模版庫機構中，所述第二驅動組件包括電機以及同步帶輪和齒形帶組件，所述同步帶輪和齒形帶組件將所述電機與所述導軌組件連接。所述導軌組件包括滾珠絲杠螺母組件、螺母支座、升降溜板及滾動導軌，所述螺母支座固定在滾珠絲杠螺母組件上，所述滾動導軌設置于滾珠絲杠螺母組件的兩側，所述升降溜板套設在所述滾動導軌上并與所述螺母支座連接，所述第二驅動組件驅動所述滾珠絲杠螺母組件轉動，并由該滾珠絲杠螺母組件將第二驅動組件發生的轉動轉化為螺母支座上下方向的直線往復運動。

進一步地，所述升降溜板上還設有用于承載掩模版盒的版盒托板，所述版盒托板在升降溜板的帶動下，沿上下方向作直線往復運動。所述鎖定和解鎖機構對應于版盒托板的位置具有一開口，用于容納所述掩模版盒。

進一步地，所述升降機構還包括豎向導軌座，所述滾動導軌平行設置于所述豎向導軌座上。所述升降機構還包括防塵蓋板，所述防塵蓋板安裝在所述升降溜板和所述豎向導軌座之間。

本實用新型的掩模版庫機構，包括摩擦阻力小，動作靈活、安全性能好的鎖定和解鎖機構，以及能夠實現掩模版平穩可靠和高精度升降的升降機構，其中鎖定和解鎖機構把一個電機的旋轉運動轉化成每兩個一組的四個鎖銷進行相反方向的平移；而升降機構的滾珠絲杠螺母組件設置在兩根滾動導軌的中間，外力垂直作用于滾珠絲杠的中心軸線上，運動穩定可靠，且外力沿該滾動絲杠軸向作用在絲杠上，可保證版盒托板在垂直方向任意位置暫停時所需的制動力；另外，由于在升降溜板和豎向導軌座之間設置了防塵蓋板，故能夠防止運動部件產生的顆粒污染物對掩模版盒的污染。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的掩模版庫機構的示意圖。

圖2A為本實用新型實施例的鎖定和解鎖機構的俯視圖。

圖2B為本實用新型實施例的鎖定和解鎖機構的原理示意圖。

圖2C為本實用新型實施例的鎖定和解鎖機構中具有導槽的滑塊正視圖。

圖3A為本實用新型實施例的升降機構的剖視圖。