[實用新型]掩模版庫機構

有效

• 申請號: 200820156899.6
• 申請日: 2008-12-10
• 公開（公告）號: CN201327564Y
• 公開（公告）日: 2009-10-14
• 發明（設計）人: 馬喜寶;李志龍
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司;上海微高精密機械工程有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B66F7/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

1、一種掩模版庫機構，包括鎖定和解鎖機構以及位于其下方的升降機構，其特征在于：

所述鎖定和解鎖機構包括第一驅動組件和滑塊機構，所述第一驅動組件驅動所述滑塊機構作直線往復運動；

所述升降機構包括第二驅動組件及導軌組件，所述第二驅動組件驅動掩模版盒沿導軌組件作直線往復運動。

2、如權利要求1所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述第一驅動組件包括電機、絲杠及絲杠螺母，所述電機提供動力，所述絲桿用于連接所述電機與所述絲桿螺母，所述絲桿螺母與所述滑塊機構連接，并將電機的轉動轉化為滑塊機構的水平運動。

3、如權利要求1所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述滑塊機構包括導向銷及交叉滾柱滑塊，所述滑塊上具有導槽，所述導向銷一端設置在所述導槽內，另一端連接至所述交叉滾柱滑塊，當所述滑塊作直線往復運動時，其帶動所述導向銷和交叉滾柱滑塊作垂直于滑塊運動方向的往復運動。

4、如權利要求3所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述滑塊兩端均設有導槽，對應每個導槽均設置有導向銷和交叉滾柱滑塊。

5、如權利要求3所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述導槽兩端各具有一段水平橫槽，兩段水平橫槽之間通過一段斜槽連接。

6、如權利要求5所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述斜槽與橫槽之間的夾角為150度。

7、如權利要求3所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述導向銷和交叉滾柱滑塊通過一鎖銷連板連接。

8、如權利要求3～7中任一項所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述滑塊包括平行設置在所述開口兩側的上滑塊及下滑塊。

9、如權利要求8所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述鎖定和解鎖機構還包括連接上滑塊與下滑塊的鋼索，當所述第一驅動組件驅動上滑塊運動時，由所述鋼索帶動所述下滑塊作與上滑塊相反方向的運動。

10、如權利要求1所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述第二驅動組件包括電機以及同步帶輪和齒形帶組件，所述同步帶輪和齒形帶組件將所述電機與所述導軌組件連接。

11、如權利要求1所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述導軌組件包括滾珠絲杠螺母組件、螺母支座、升降溜板及滾動導軌，所述螺母支座固定在滾珠絲杠螺母組件上，所述滾動導軌設置于滾珠絲杠螺母組件的兩側，所述升降溜板套設在所述滾動導軌上并與所述螺母支座連接，所述第二驅動組件驅動所述滾珠絲杠螺母組件轉動，并由該滾珠絲杠螺母組件將第二驅動組件發生的轉動轉化為螺母支座上下方向的直線往復運動。

12、如權利要求11所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述升降溜板上還設有用于承載掩模版盒的版盒托板，所述版盒托板在升降溜板的帶動下，沿上下方向作直線往復運動。

13、如權利要求12所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述鎖定和解鎖機構對應于版盒托板的位置具有一開口，用于容納所述掩模版盒。

14、如權利要求11所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述升降機構還包括豎向導軌座，所述滾動導軌平行設置于所述豎向導軌座上。

15、如權利要求14所述的掩模版庫機構，其特征在于，所述升降機構還包括防塵蓋板，所述防塵蓋板安裝在所述升降溜板和所述豎向導軌座之間。