[實用新型]手動供氣氣體柜有效
| 申請號： | 200820156896.2 | 申請日： | 2008-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN201322188Y | 公開（公告）日： | 2009-10-07 |
| 發明（設計）人： | 王濤 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | F17D1/02 | 分類號： | F17D1/02;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 手動 供氣 氣體 | ||
【權利要求書】：
1.一種手動供氣氣體柜，包括至少三個氣動閥門，所述氣動閥門之間由氣體輸送管線連接，其特征在于所述氣動閥門皆通過氣動管線和一手動閥門相連，所述手動閥門通過氣動管線和供氣設備相連。
2.根據權利要求1所述手動供氣氣體柜，其特征在于所述氣動閥門之間的連接關系為串聯。
3.根據權利要求1所述手動供氣氣體柜，其特征在于所述氣動閥門至少加壓力為80psi氣體的情況下開啟。
4.根據權利要求3所述手動供氣氣體柜，其特征在于所述供氣設備供應的氣體為壓力等于或大于80psi的氣體。
5.根據權利要求3或4所述手動供氣氣體柜，其特征在于所述氣體為氮氣。
6.根據權利要求1所述手動供氣氣體柜，其特征在于每個所述氣動閥門和電子盤通過氣動管線相連，且由所述電子盤控制所述氣動閥門的開或關。
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