[實用新型]手動供氣氣體柜

有效

• 申請號: 200820156896.2
• 申請日: 2008-12-10
• 公開（公告）號: CN201322188Y
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 王濤
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: F17D1/02
• 分類號: F17D1/02;F17D3/01
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及一種氣體柜，尤其涉及一種帶手動供氣功能的氣體柜。

背景技術

目前的氣體柜在進行供氣時，采用的是用電子盤進行自動控制氣動閥打開，24小時不間斷的給機臺提供氣體。一側進行供應，一側進行備用。一側氣瓶用空時，進行自動切換。在自動切換的過程中，為了保證工作人員有個安全環境，以免危險氣體散出，氣體柜由連續運轉的排風系統將危險氣體送至安全處理系統。對于用量比較大的氣體例如C₂F₆或者NF₃，如果僅僅停止1-2分鐘的供應，就會造成機臺的斷氣，造成機臺的芯片的報廢，影響生產造成經濟損失。例如當氣柜的電子盤面發生故障，或者電源發生故障而掉電時，在這種狀態下，電子盤面將控制氣動閥處于關閉裝態，停止供氣，相應的工廠的生產也將隨著而停止。由于目前的氣體是通過電子盤面控制3個氣動閥門同時打開而進行正常的供氣的，如圖1中的三個氣動閥門21，三個氣動閥門21相互之間為串聯的關系，由氣體輸送管線22連接，因此要使得氣體柜處于供氣狀態，三個氣動閥門21必須都處于打開狀態，而要使得氣動閥門處于打開狀態，則與氣動閥門21通過氣動管線相連的電子盤(圖中未示)控制氣體進入氣動管線，通過壓力至少是80psi(磅/平方英寸)的氣體沖擊氣動閥門21，使得氣動閥門21打開。假設此時的氣動閥門21的和電子盤相連的氣動管線內，充有80psi的氮氣使氣動閥門21打開，處于供氣狀態，如果氣體盤面出現問題，電子盤面控制的80psi的氮氣停止供應，氣動閥門21將關閉，供氣也將停止。為了恢復供氣，在這種情況下，我們一般采取普通的強制供氣設備進行供氣，將三個氣動閥門21的氣動管線(圖中未示)拔下，插到強制供氣設備上，充80psi的氮氣進行強制供氣，使三個氣動閥門21打開，這樣的一個過程要花費較長的時間，正如上面提到的，長時間停止供氣，就會造成機臺的斷氣，尤其是用量比較大的氣體例如C₂F₆或者NF₃，甚至有可能造成機臺芯片的報廢，影響生產的正常進行，同時也給工廠帶來巨大的經濟損失，因此，必須縮短氣動閥門恢復供氣的時間。

實用新型內容

為了解決現有技術中，氣動閥門恢復供氣時間過長從而容易引起生產事故的問題，本實用新型提出一種能使得氣動閥門快速恢復供氣的可以手動供氣的氣體柜。

為了實現上述目的，本實用新型提供一種手動供氣氣體柜，包括至少三個氣動閥門，所述氣動閥門之間由氣體輸送管線連接，所述氣動閥門皆通過氣動管線和一手動閥門相連，所述手動閥門通過氣動管線和供氣設備相連。

可選的，所述氣動閥門之間的連接關系為串聯。

可選的，所述氣動閥門至少加壓力為80psi氣體的情況下開啟。

可選的，所述供氣設備供應的氣體為壓力等于或大于80psi的氣體。

可選的，所述氣體為氮氣。

可選的，所述氣動閥門和電子盤通過氣動管線相連，且由所述電子盤控制所述氣動閥門的開或關。

與傳統氣體柜相比，本實用新型提供的手動供氣氣體柜通過增設一連接供氣設備的手動閥門，在出現故障而氣動閥門關閉時，避免了將氣動閥門的氣動管線拔下，插到強制供氣設備上充氣的過程，大大減少了重開氣動閥門的時間，迅速的給機臺恢復供氣，從而保護了機臺的芯片的正常生產，避免給工廠帶來不必要的經濟損失。

附圖說明

圖1是現有技術的示意圖；

圖2是本實用新型手動供氣氣體柜的示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施方式對本實用新型的手動供氣氣體柜作進一步的詳細說明。