[實用新型]探針卡支承板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200820156370.4
• 申請日: 2008-12-01
• 公開（公告）號: CN201322761Y
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉鐵;童建橋;郭萬瑾;柳入華
• 申請（專利權(quán)）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體測試裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種用于測試芯片的探針卡支承板。

背景技術(shù)

探針測試是對芯片進行測試的一種方法，通常是把芯片放置在一個探針卡支承板上，并通過探針卡實現(xiàn)這一部分的電子線路連接，探針卡上有細小的金屬探針附著，通過降低探針高度使之和芯片上的焊盤接觸，可以把探針卡上的線路和芯片的焊盤連起來。之后，運行檢測程序檢驗芯片合格與否。檢測完成后，探針抬起，如果芯片不合格，則會在其中央做上標記，然后進行下一個芯片的測試。

在目前的測試設(shè)備中，探針臺的探針卡支承板都是專用型設(shè)計的，即在購進之前需要告訴供應(yīng)商該探針臺需要測試的器件的特征(比如器件的類型、尺寸，厚度等)以及所使用的探針卡的特征(比如PCB的厚度，大小，形狀和結(jié)構(gòu)等)，供應(yīng)商再根據(jù)這些信息對使用的探測臺進行設(shè)計專用的探針卡支承板，隨著市場的多樣化和消費需求變化迅速，往往一臺探針臺還需要對很多種類的半導(dǎo)體芯片進行測試，專用的探針卡支承板難以應(yīng)用在其他產(chǎn)品上，一種探針卡支承板只能適用在一種芯片類型的探針卡，比如用來裝載SOC(片上系統(tǒng))的探針卡可能與裝載Memory(記憶體)芯片的探針卡就不一樣，缺乏適應(yīng)性。而且，一旦將探針臺置換其他產(chǎn)品進行測試，則需要針對其他產(chǎn)品進行專門的設(shè)計，不得不花費額外的開銷，增加成本，同時更換周期長，影響探針臺的使用效能和綜合產(chǎn)量，無法滿足市場對產(chǎn)品的快速變化需求。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種可適應(yīng)各種探針卡結(jié)構(gòu)的探針卡支承板。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供的一種探針卡支承板，所述探針卡支承板包括外環(huán)面和內(nèi)環(huán)面，所述內(nèi)環(huán)面上兩側(cè)設(shè)有開口，所述內(nèi)環(huán)面分布有若干組孔，各組孔以所述內(nèi)環(huán)面圓心為中心呈同心圓狀排列。

進一步的，所述內(nèi)環(huán)面開口處兩側(cè)連接有卡槽。

進一步的，所述卡槽與所述內(nèi)環(huán)面以可拆卸方式連接。

進一步的，所述各組孔所對應(yīng)的圓的直徑與不同尺寸的圓形探針卡相對應(yīng)。

進一步的，所述外環(huán)面外側(cè)設(shè)有若干突出塊。

與現(xiàn)有探針卡支承板相比，本實用新型通過在原有的探針卡支承板上設(shè)有開口，即可與卡槽連接，從而可以通過調(diào)整卡槽的距離而適用于各種矩形類的探針卡，而且，通過在所述內(nèi)環(huán)面上設(shè)有若干組同心的孔，當(dāng)去掉所述卡槽后，可適用于各種圓形類的探針卡，從而可廣泛應(yīng)用于各類探針卡，提高了設(shè)備的利用率，也節(jié)省了成本。

附圖說明

以下結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型探針卡支承板作進一步的詳細說明。

圖1是本實用新型探針卡支承板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型探針卡支承板實施例一的組裝示意圖；

圖3是本實用新型探針卡支承板實施例二的組裝示意圖。

具體實施方式

請參閱圖1，本實施例的探針卡支撐板9包括內(nèi)環(huán)面1和外環(huán)面2，在所述內(nèi)環(huán)面1上兩側(cè)設(shè)有開口4，同時在所述內(nèi)環(huán)面1上分布有若干組孔3，每一組孔以所述內(nèi)環(huán)面1圓心為中心呈同心圓狀排列，從而根據(jù)不同的探針卡直徑的大小而選擇不同的同心圓的孔來固定。外環(huán)面外側(cè)設(shè)有若干突出塊5，所述突出塊5用來與外部設(shè)備連接固定。

實施例一：請參閱圖2，所述內(nèi)環(huán)面1在開口4處的兩側(cè)分別連接有兩個卡槽6，所述卡槽6通過螺絲(未標示)與所述內(nèi)環(huán)面1連接，在所述卡槽6上固定探針卡7，即可對所述探針卡7上的待測件(未標示)進行測試。所述卡槽6上固定螺絲的槽位(未標示)可以設(shè)計的比較寬，從而適用于不同尺寸的具有矩形類的探針卡，也便于安裝和調(diào)整。所述卡槽6與所述內(nèi)環(huán)面1以可拆卸的方式連接，比如通過螺絲來鎖緊或者在所述卡槽上設(shè)有夾持機構(gòu)(未標示)來進行夾持，當(dāng)所述探針卡支撐板9用來進行其他結(jié)構(gòu)的探針卡測試的時候，即可將所述卡槽6以及夾持機構(gòu)卸掉。

實施例二，請參閱圖3，當(dāng)改用具有圓形類的探針卡8時，先將圖1中如實施例一所述的卡槽6以及夾持機構(gòu)卸掉，直接將所述探針卡8放置于所述內(nèi)環(huán)面1上，設(shè)計時，每組孔3所對應(yīng)的圓的直徑與不同尺寸的圓形探針卡8相對應(yīng)，根據(jù)所述探針卡8直徑的大小，選擇分布在所述內(nèi)環(huán)面1上呈同心圓狀排列的一組孔3來固定，即可對所述探針卡8上的待測件(未標示)進行測試。

以上顯示和描述了本實用新型的基本原理、主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，上述實施例和說明書中描述的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下本實用新型還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等同物界定。