[實用新型]探針卡支承板有效
| 申請號： | 200820156370.4 | 申請日： | 2008-12-01 |
| 公開（公告）號： | CN201322761Y | 公開（公告）日： | 2009-10-07 |
| 發明（設計）人： | 劉鐵;童建橋;郭萬瑾;柳入華 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/04 | 分類號： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所 | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 支承 | ||
【權利要求書】：
1.一種探針卡支承板，所述探針卡支承板包括外環面和內環面，其特征在于：所述內環面上兩側設有開口，所述內環面分布有若干組孔，各組孔以所述內環面圓心為中心呈同心圓狀排列。
2.如權利要求1所述的探針卡支承板，其特征在于：所述內環面開口處兩側連接有卡槽。
3.如權利要求2所述的探針卡支承板，其特征在于：所述卡槽與所述內環面以可拆卸方式連接。
4.如權利要求1所述的探針卡支承板，其特征在于：所述各組孔所對應的圓的直徑與不同尺寸的圓形探針卡相對應。
5.如權利要求1所述的探針卡支承板，其特征在于：所述外環面外側設有若干突出塊。
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