[實(shí)用新型]晶圓暫存裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200820156052.8
• 申請(qǐng)日: 2008-11-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201311923Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張文鋒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/673
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 李 麗

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種晶圓暫存裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體的制造工藝中，包括各種處理過(guò)程，例如氧化、淀積、光刻、刻蝕等。在晶圓通過(guò)傳送裝置輸送至處理設(shè)備之前，都會(huì)暫存在晶圓暫存裝置中，用來(lái)避免處理設(shè)備與外界環(huán)境的直接接觸。晶圓暫存裝置其實(shí)是晶圓的一個(gè)臨時(shí)存放點(diǎn)，當(dāng)晶圓在進(jìn)行處理之前或完成處理后，通過(guò)晶圓暫存裝置將晶圓予以暫存；而當(dāng)晶圓要進(jìn)行處理時(shí)，晶圓暫存裝置會(huì)將晶圓輸送到處理設(shè)備的接收口，以供處理設(shè)備通過(guò)所述接收口接收晶圓并對(duì)其進(jìn)行處理。

現(xiàn)有的晶圓暫存裝置如圖1所示，包括用于存放晶圓的腔體10，以及活動(dòng)裝配于腔體10內(nèi)供承載晶圓的晶圓載具12，其中，在腔體10的側(cè)壁開(kāi)設(shè)有轉(zhuǎn)移口100、102，轉(zhuǎn)移口100是用于貫通腔體10與外界，而轉(zhuǎn)移口102是用于貫通腔體10與處理設(shè)備的處理室(未予以圖示)。這樣在執(zhí)行晶圓處理時(shí)，是首先將承載有一個(gè)或多個(gè)晶圓的晶圓載具12通過(guò)轉(zhuǎn)移口100自外界環(huán)境移入腔體10內(nèi)部，對(duì)腔體10實(shí)施減壓，再將晶圓載具12通過(guò)轉(zhuǎn)移口102自腔體10轉(zhuǎn)入與晶圓暫存裝置連接的處理室(未予以圖示)，并在處理室內(nèi)進(jìn)行處理；待完成處理后，則與上述步驟相反，通過(guò)轉(zhuǎn)移口102、100將晶圓載具12自處理室途經(jīng)圓暫存裝置的腔體10移至外界環(huán)境中。在上述過(guò)程中，例如，將晶圓載具12移出晶圓暫存裝置的腔體前，需確保腔體10內(nèi)的氣壓要與外界的大氣壓相平衡(氣壓差為零或小到可以忽略)，故在現(xiàn)有晶圓暫存裝置中，還包括用以實(shí)時(shí)檢測(cè)腔體10內(nèi)氣壓值的氣壓測(cè)量計(jì)140以及當(dāng)氣壓測(cè)量計(jì)140所測(cè)量到的腔體10內(nèi)氣壓達(dá)到外界的大氣壓時(shí)可產(chǎn)生提示信息的感應(yīng)器142，例如提示燈或蜂鳴器。但在實(shí)際應(yīng)用中，往往會(huì)由于其本身的測(cè)量誤差或者長(zhǎng)期未予以調(diào)修而造成的測(cè)量失效，使得氣壓測(cè)量計(jì)140并不能真正反映腔體10內(nèi)氣壓的真實(shí)值。例如，存在這樣的情形，當(dāng)氣壓測(cè)量計(jì)140檢測(cè)到腔體10內(nèi)的氣壓值已達(dá)到外界環(huán)境的氣壓值時(shí)，實(shí)際的腔體10內(nèi)的氣壓值通過(guò)加壓已超過(guò)外界環(huán)境的氣壓(假設(shè)此時(shí)的外界環(huán)境的氣壓為標(biāo)準(zhǔn)大氣壓值)，例如存在大于20tor的內(nèi)外氣壓差，此時(shí)當(dāng)打開(kāi)轉(zhuǎn)移口102時(shí)，由于所述內(nèi)外壓差的存在，會(huì)在腔體10的內(nèi)外形成湍流，如此會(huì)將大氣環(huán)境中的微粒帶到晶圓的表面，或者由于湍流而將其中一個(gè)晶圓背面的微粒吹落到處于其下面的另一片晶圓的正面，從而形成污染，影響晶圓的后續(xù)處理的質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型解決的問(wèn)題是，提供一種晶圓暫存裝置，避免因晶圓暫存裝置內(nèi)外的氣壓差形成湍流，防止微粒沾染于晶圓的表面。

本實(shí)用新型提供一種晶圓暫存裝置，包括：供承載晶圓的晶圓載具；供容納所述晶圓載具的腔體，所述腔體開(kāi)設(shè)有供晶圓載具進(jìn)出腔體的轉(zhuǎn)移口；設(shè)于腔體的氣壓調(diào)節(jié)裝置，至少包括能導(dǎo)通腔體與外界環(huán)境的導(dǎo)管以及控制所述導(dǎo)管開(kāi)閉的導(dǎo)管控制裝置。

可選地，所述導(dǎo)管控制裝置包括與所述導(dǎo)管連接，用于控制氣體自腔體排出至外界環(huán)境的單向閥。

可選地，所述單向閥為電動(dòng)單向閥。

可選地，所述導(dǎo)管控制裝置包括與所述導(dǎo)管連接的雙向閥以及過(guò)濾器。

可選地，所述雙向閥為電動(dòng)雙向閥。

可選地，所述過(guò)濾器包括纖維材質(zhì)或不銹鋼材質(zhì)的濾網(wǎng)。

可選地，所述晶圓暫存裝置還包括用于測(cè)量腔體內(nèi)氣體氣壓值的氣壓測(cè)量計(jì)以及當(dāng)所述氣壓測(cè)量計(jì)所測(cè)量的氣壓達(dá)到某一預(yù)設(shè)值時(shí)產(chǎn)生提示信息的感應(yīng)器。

可選地，所述感應(yīng)器包括提示燈或蜂鳴器。

可選地，所述晶圓暫存裝置還包括與腔體連通的氣體管路，所述氣體管路包括排空管路與吹掃管路。

可選地，所述排空管路與吹掃管路均包括有閥門。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型所提供的晶圓暫存裝置，包括設(shè)于腔體的氣壓調(diào)節(jié)裝置，其中所述氣壓調(diào)節(jié)裝置包括能導(dǎo)通腔體與外界環(huán)境的導(dǎo)管以及控制導(dǎo)管開(kāi)閉的導(dǎo)管控制裝置，使得打開(kāi)轉(zhuǎn)移口移出晶圓載具時(shí)腔體內(nèi)的氣壓與外界環(huán)境達(dá)成平衡，避免因腔體內(nèi)外的壓差而形成湍流，防止微粒沾染于晶圓載具上所承載的晶圓的表面。

附圖說(shuō)明

圖1顯示現(xiàn)有技術(shù)中晶圓暫存裝置的側(cè)剖示意圖；

圖2顯示本實(shí)用新型實(shí)施方式中晶圓暫存裝置在一個(gè)實(shí)施例中側(cè)剖示意圖；

圖3顯示本實(shí)用新型實(shí)施方式中晶圓暫存裝置在另一個(gè)實(shí)施例中的側(cè)剖示意圖。

具體實(shí)施方式