[實用新型]晶圓暫存裝置有效
| 申請號： | 200820156052.8 | 申請日： | 2008-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN201311923Y | 公開（公告）日： | 2009-09-16 |
| 發明（設計）人： | 張文鋒 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/677 | 分類號： | H01L21/677;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 李 麗 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 暫存 裝置 | ||
1.一種晶圓暫存裝置，包括：
供承載晶圓的晶圓載具；
供容納所述晶圓載具的腔體，所述腔體開設有供晶圓載具進出腔體的轉移口；
其特征在于，還包括設于腔體的氣壓調節裝置，所述氣壓調節裝置至少包括能導通腔體與外界環境的導管以及控制所述導管開閉的導管控制裝置。
2.如權利要求1所述的晶圓暫存裝置，其特征在于，所述導管控制裝置包括與所述導管連接，用于控制氣體自腔體排出至外界環境的單向閥。
3.如權利要求2所述的晶圓暫存裝置，其特征在于，所述單向閥為電動單向閥。
4.如權利要求1所述的晶圓暫存裝置，其特征在于，所述導管控制裝置包括與所述導管連接的雙向閥以及過濾器。
5.如權利要求4所述的晶圓暫存裝置，其特征在于，所述雙向閥為電動雙向閥。
6.如權利要求4所述的晶圓暫存裝置，其特征在于，所述過濾器包括纖維材質或不銹鋼材質的濾網。
7.如權利要求1所述的晶圓暫存裝置，其特征在于，還包括用于測量腔體內氣體氣壓值的氣壓測量計以及當所述氣壓測量計所測量的氣壓達到某一預設值時產生提示信息的感應器。
8.如權利要求7所述的晶圓暫存裝置，其特征在于，所述感應器包括提示燈或蜂鳴器。
9.如權利要求1所述的晶圓暫存裝置，其特征在于，還包括與腔體連通的氣體管路，所述氣體管路包括排空管路與吹掃管路。
10.如權利要求9所述的晶圓暫存裝置，其特征在于，所述排空管路與吹掃管路均包括有閥門。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
