[實用新型]洗滌塔進氣結構

有效

• 申請號: 200820155355.8
• 申請日: 2008-11-13
• 公開（公告）號: CN201320446Y
• 公開（公告）日: 2009-10-07
• 發明（設計）人: 張衛民;徐皓;施訓志
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/18
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈 蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體工業中的排氣系統(Exhaust?System)，特別是涉及洗滌塔(Scrubber)的進氣結構。

背景技術

在半導體制造過程中，所使用機臺的種類相當繁多，各種排放物質的種類更是不勝枚舉，其中不乏對環境產生污染，甚至對人體具有危害的物質。因此，排氣系統(Exhaust?System)雖非半導體制造生產設備，但卻是在生產區域營造一個安全環境所必不可少的設備。其中用以處理有毒氣體或酸、堿性氣體的洗滌塔的正常運轉對于晶片生產品質以及操作人員的工作環境更是起著十分重要的作用。

具體請參考圖1，其示出了排氣系統中現有的洗滌塔的結構。如圖所示，在真空泵10的作用下，廢氣經過通道20進入到洗滌塔30內，通常洗滌塔30內設計有進氣結構31，以控制廢氣進入反應室33內，以在其內實現對廢氣的處理。進氣結構31包括進氣閥311以及旁路閥312，其中進氣閥311控制廢氣至反應室33這條支路，而旁路閥312控制廢氣至其他洗滌塔的支路，以便于預防保養(PM)。現有的進氣閥311與旁路閥312為常閉閥，其在壓縮干燥空氣的控制下實現開啟，而壓縮干燥空氣通常由電磁閥(solenoid?valve)313和314加以控制。即當電磁閥313開啟，壓縮干燥空氣進入進氣閥311，從而進氣閥311由常閉狀態進入開啟狀態，廢氣便可進入反應室33內；同樣，在完成廢氣處理后，需對設備進行預防保養，此時，開啟電磁閥314，壓縮干燥空氣便進入旁路閥312，從而旁路閥312由常閉狀態進入開啟狀態，廢氣便可進入其他洗滌塔內。然而這種進氣結構31在系統發生故障時，極易導致真空泵停止運轉，廢氣回流，造成對晶片的污染，導致晶片報廢。例如，在實際操作中，遇到電磁閥313失靈，此時進氣閥311無法實現開啟，而旁路閥312又處于關閉狀態，于是整個氣體通路受阻，真空泵10過載而停止運轉。此時，廢氣極易回流而造成晶片污染，導致晶片報廢，如未能及早發現，損失將十分嚴重。在操作中，就曾出現過150片晶圓報廢的結果。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是減少洗滌塔進氣結構的所有閥門都處于關閉狀態，而導致真空泵過載而停止運轉的情況出現，進而降低廢氣回流的可能性，減少由此造成的晶片損失。

為此，本實用新型提供一種洗滌塔進氣結構，包括進氣閥和旁路閥，其中進氣閥控制廢氣至洗滌塔反應室的支路，旁路閥控制廢氣至其他洗滌塔的支路，其中所述進氣閥為常開閥，且所述旁路閥為常閉閥。

進一步的，所述進氣閥與旁路閥的狀態改變受控于同一電磁閥。

進一步的，所述進氣閥與旁路閥為氣動閥，且狀態改變受控于同一路干燥壓縮空氣，且所述干燥壓縮空氣受控于所述電磁閥。

本實用新型另提供一種洗滌塔進氣結構，包括進氣閥和旁路閥，其中進氣閥控制廢氣至洗滌塔反應室的支路，旁路閥控制廢氣至其他洗滌塔的支路，其中所述進氣閥為常閉閥，且所述旁路閥為常開閥。

進一步的，所述進氣閥與旁路閥的狀態改變受控于同一電磁閥。

進一步的，所述進氣閥與旁路閥為氣動閥，且狀態改變受控于同一路干燥壓縮空氣，且所述干燥壓縮空氣受控于所述電磁閥。

可見，以上所提供的洗滌塔進氣結構中，進氣閥和旁路閥為通常狀態相反的兩種閥，從而減小了兩者同時關閉的可能性。進一步利用同一電磁閥控制進氣閥和旁路閥的狀態改變，可以保證兩者中總有一個是處于開啟狀態。因此采用這種設計，可以在出現意外事件時(例如干燥壓縮空氣消失、電磁閥失靈或系統異常關閉)極大的減少真空泵過載而停止運轉的可能性，進而避免廢氣回流所造成的損失。

附圖說明

圖1為排氣系統中現有洗滌塔的結構框圖；

圖2為本實用新型一實施例所提供的洗滌塔的結構框圖；

圖3為本實用新型另一實施例所提供的洗滌塔的結構框圖。

具體實施方式

為使本實用新型的技術特征更明顯易懂，下面結合附圖與實施例，對本實用新型做進一步的描述。

在背景技術中已經提及，現有的洗滌塔進氣結構中，進氣閥與旁路閥均為常閉狀態，且分別受控于各自的電磁閥，故只要其中一個電磁閥出現故障，就會極大的增加進氣閥與旁路閥同時關閉的狀況出現。于是，在以下實施例中，利用通常狀態相反的兩種閥來實現進氣閥與旁路閥的設計，這樣即使控制進氣閥與旁路閥的電磁閥出現故障，也會有一個閥處于開啟狀態，從而避免了真空泵過載的情況出現。